Grafit lapisan TaC digawe kanthi nutupi permukaan substrat grafit kanthi kemurnian dhuwur kanthi lapisan tantalum karbida sing apik kanthi proses Deposisi Uap Kimia (CVD) proprietary.
Tantalum karbida (TaC) minangka senyawa sing kasusun saka tantalum lan karbon. Nduwe konduktivitas listrik metalik lan titik leleh sing dhuwur banget, dadi bahan keramik sing tahan api sing dikenal kanthi kekuatan, kekerasan, lan tahan panas lan nyandhang. Titik lebur Tantalum Carbides puncaké watara 3880°C gumantung saka kemurnian lan duwé salah siji titik lebur paling dhuwur ing antarané senyawa biner. Iki ndadekake alternatif sing menarik nalika panjaluk suhu sing luwih dhuwur ngluwihi kemampuan kinerja sing digunakake ing proses epitaxial semikonduktor senyawa kayata MOCVD lan LPE.
Data materi saka Semicorex TaC Coating
Proyek |
Paramèter |
Kapadhetan |
14.3 (gm/cm³) |
Emisivitas |
0.3 |
CTE (× 10-6/K) |
6.3 |
Kekerasan (HK) |
2000 |
Resistance (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Stabilitas termal |
<2500 ℃ |
Owah-owahan Dimensi Grafit |
-10~-20um (nilai referensi) |
Ketebalan Coating |
≥20um nilai khas (35um±10um) |
|
|
Ing ndhuwur minangka nilai khas |
|
Semicorex TaC Coated Graphite Chuck minangka komponen kinerja dhuwur sing dirancang kanggo penanganan wafer sing tepat lan proses suhu dhuwur ing manufaktur semikonduktor. Pilih Semicorex kanggo produk inovatif lan awet sing njamin kinerja optimal lan umur dawa ing aplikasi semikonduktor nuntut.*
Waca liyaneKirim PitakonanSemicorex TaC ring minangka komponen kinerja dhuwur sing dirancang kanggo pertumbuhan kristal tunggal SiC, njamin distribusi aliran gas lan kontrol suhu sing optimal. Pilih Semicorex kanggo keahlian kita ing bahan canggih lan teknik presisi, nyedhiyakake solusi sing awet lan dipercaya sing ningkatake efisiensi lan kualitas proses semikonduktor sampeyan.*
Waca liyaneKirim PitakonanSemicorex Tantalum Carbide Part minangka komponèn grafit sing dilapisi TaC sing dirancang kanggo panggunaan kinerja dhuwur ing aplikasi pertumbuhan kristal silikon karbida (SiC), nyedhiyakake suhu lan ketahanan kimia sing apik. Pilih Semicorex kanggo komponen sing dipercaya lan berkualitas sing ningkatake kualitas kristal lan efisiensi produksi ing manufaktur semikonduktor.*
Waca liyaneKirim PitakonanCincin Semicorex Tantalum Carbide minangka komponen kritis sing digunakake ing proses manufaktur semikonduktor maju. Dikenal amarga kekerasan sing luar biasa, titik leleh sing dhuwur, lan inertness kimia, Ing Semicorex, kita wis darmabakti kanggo ngirim produk sing cocog karo standar kualitas lan kinerja sing paling dhuwur, supaya klien kita tetep ing ngarep inovasi ing industri semikonduktor.*
Waca liyaneKirim PitakonanSemicorex TaC Coating Wafer Susceptor minangka tray grafit sing dilapisi karo karbida tantalum, digunakake ing pertumbuhan epitaxial karbida silikon kanggo ningkatake kualitas lan kinerja wafer. Pilih Semicorex kanggo teknologi lapisan canggih lan solusi tahan lama sing njamin asil epitaksi SiC sing unggul lan umur susceptor sing luwih dawa.*
Waca liyaneKirim PitakonanTaC Coating Guide Rings minangka cincin grafit kanthi lapisan karbida tantalum, dirancang kanggo digunakake ing tungku pertumbuhan kristal karbida silikon kanggo nambah kualitas kristal. Pilih Semicorex kanggo teknologi lapisan sing canggih, njamin daya tahan sing unggul, stabilitas termal, lan kinerja pertumbuhan kristal sing optimal.*
Waca liyaneKirim Pitakonan