Operator Semicorex RTP yaiku silikon karbida sing dilapisi nggunakake proses deposisi uap kimia (CVD), sing pancen stabil kanggo RTA, RTP utawa reresik kimia sing atos. Ing inti saka proses semikonduktor, susceptors epitaxy, pisanan ngalami lingkungan deposition, supaya wis panas dhuwur lan resistance karat. Operator sing dilapisi SiC uga nduweni konduktivitas termal sing dhuwur, lan sifat distribusi panas sing apik banget.
● High kemurnian SiC ditutupi grafit
● resistance panas Superior lan resistance kimia
● Keseragaman termal sing dhuwur
● resistance nyandhang banget