Dering fokus utawa dering pinggiran dirancang kanggo nambah keseragaman etch ing pinggir wafer utawa keliling.
Cincin fokus Semicorex yaiku karbida silikon sing dilapisi nggunakake deposisi uap kimia (CVD) nyedhiyakake tahan panas sing unggul, sanajan seragam termal kanggo kekandelan lan resistensi lapisan epi sing konsisten, lan resistensi kimia sing tahan lama, sing dibangun kanggo tahan lingkungan ekstrem ing etsa plasma utawa proses etsa garing. .
Cincin fokus awet Semicorex kanggo pangolahan semikonduktor dirancang kanggo tahan lingkungan ekstrem saka kamar etch plasma sing digunakake ing pangolahan semikonduktor. Cincin fokus kita digawe saka grafit kemurnian dhuwur sing dilapisi karo lapisan silikon karbida (SiC) sing padhet lan tahan nyandhang. Lapisan SiC nduweni sifat korosi lan tahan panas sing dhuwur, uga konduktivitas termal sing apik banget. Kita ngetrapake SiC ing lapisan tipis menyang grafit kanthi nggunakake proses deposisi uap kimia (CVD) kanggo nambah umur layanan dering fokus.
Waca liyaneKirim PitakonanCincin fokus pangolahan plasma Semicorex dirancang khusus kanggo nyukupi panjaluk pangolahan etch plasma ing industri semikonduktor. Komponen Dilapisi Silicon Carbide sing maju lan kemurnian dhuwur dibangun kanggo tahan lingkungan sing ekstrem lan cocog kanggo digunakake ing macem-macem aplikasi, kalebu lapisan karbida silikon lan semikonduktor epitaksi.
Waca liyaneKirim PitakonanSemicorex maju, kemurnian dhuwur SiC Focus Rings dibangun kanggo tahan lingkungan nemen ing plasma etch (utawa etch garing) kamar. Kita fokus ing industri semikonduktor kayata lapisan silikon karbida lan semikonduktor epitaksi. Produk kita duwe kauntungan rega sing apik lan nutupi akeh pasar Eropa lan Amerika. We look nerusake kanggo dadi partner long-term ing China.
Waca liyaneKirim Pitakonan