Dering fokus utawa dering pinggiran dirancang kanggo nambah keseragaman etch ing pinggir wafer utawa keliling.
Cincin fokus Semicorex yaiku silikon karbida sing dilapisi nggunakake deposisi uap kimia (CVD) nyedhiyakake tahan panas sing unggul, sanajan keseragaman termal kanggo kekandelan lan resistensi lapisan epi sing konsisten, lan resistensi kimia tahan lama, sing dibangun kanggo tahan lingkungan ekstrem ing etsa plasma utawa proses etsa garing. .