Pancake susceptor, wangun bunder saka wafer operator digunakake ing pangolahan semikonduktor.
Epitaxy minangka langkah penting ing pangolahan semikonduktor sing tuwuh lapisan epitaxial ing wafer semikonduktor, ing endi wafer digawa ing susceptor grafit. Kualitas susceptor grafit minangka kunci kanggo kualitas wafer epi.
Susceptor grafit kanthi lapisan silikon karbida
Semicorex nyedhiyakake susceptor lan komponen kanggo kabeh reaktor epitaksi, kalebususceptors laraslan susceptors pancake. Kita nggunakake grafit kemurnian dhuwur lan lapisan CVD SiC.