Penafian TAC Coating Payestal

Pemustaman Payestal Semikorex Tac Coating duwe peran utama ing dhukungan mekanik, nanging uga ngontrol aliran proses. Dununge ana ing ngisor susceptor utama utawa operator wafer nalika digunakake ing reaktor. Iki ngunci rotasi rotasi menyang posisi, ngemu keseimbangan termal ing aliran payestal, lan ngatur aliran gas sing sehat ing ngisor zona wafer. Pemustih Payestal Payestal Tac digawe kanggo loro fungsi, kalebu pangkalan grafit sing digawe saka konstruktif sing dilapisi kanthi lapisan karet sing seragam (TAC) kanthi deposisi uap kimia (CVD).

Tantalum karbida minangka salah sawijining bahan inert sing paling akeh lan kimia sing kasedhiya, kanthi titik leleh ing ndhuwur 3800 ° C lan resistensi gedhe kanggo korosi lan erosi. Nalika CVD digunakake kanggo ngasilakeTac Coatings, asil pungkasan yaiku lapisan sing lancar sing nglindhungi landasan grafit saka oksidasi suhu, karat amonia, lan reaksi prekursor logam-organik. Ing ngisor cahya sing dawa kanggo gas sing diombe utawa muter termal sing ekstrem sing ana gandhengane karo proses epitarxial, pendukung sikil tetep, njaga stabilitas struktural lan kimia.

Nindakake pirang-pirang fungsi kritis, lapisan lapisan CVD TAC minangka alangan pelindung, tetep kontaminasi karbon potensial saka lapisan grafit lan landasan saka mlebu lingkungan reaktor utawa mengaruhi wafer. Kapindho, nyedhiyakake inertness kimia, njaga permukaan sing resik lan stabil ing loro sing dioksidasi lan nyuda atmosfer. Iki ngalangi reaksi sing ora dikarepake ing antarane gas proses lan reaktor reaktor, mesthekake yen kimia gas-fase tetep dikendhaleni lan keseranan film sing dilestarekake.

Pentinge panyengkuyung mlaku ing kontrol aliran gas kudu direntika kanthi adil. Aspek utama ing proses deposisi angkitoxial yaiku njamin keseragaman gas proses sing mili ing kabeh permukaan wafer kanggo ngasilake lapisan lapisan sing konsisten. Pemustaman Payestal Payestal Tac tepat kanggo ngontrol saluran aliran gas lan geometri, sing bakal mbantu ngontrol gas utawa merata menyang zona reaksi. Kanthi ngontrol aliran laminar, kerusuhan dirampungake, zona mati diilangi, lan lingkungan gas sing luwih stabil dumadi. Kabeh iki nyebabake seragam tebal film sing luwih serik lan kualitas epitaksakser.

TheLapisan tacNyedhiyakake konduktivitas termal lan emistivitas termal, sing uga ngidini panyengkuyung mlaku lan santai kanthi efisien. Iki uga bakal nyebabake keseragaman suhu sakabehe ing susceptor lan wafer kanthi kecerunan suhu sing luwih murah ngasilake variasi kraton. Additionally, TaC offers exceptional oxidation resistance, which will ensure emissivity remains consistent during long-term operations, ensuring accurate temperature calibration and repeatable process performance.

Pengiriman Payestal Payestal Tac duwe daya tahan mekanik sing dhuwur, utangan kanggo urip operasional lengkap. Proses lapisan CVD, khusus, nggawe ikatan molekul sing padhet ing antarane lapisan Tac lan landasan grafit kanggo nyegah delaminasi, retak, utawa peeling saka stres termal. Pramila minangka komponen sing entuk manfaat saka atusan siklus suhu dhuwur tanpa kuciwane.