Tutup kamar digunakake kanggo nggawe lingkungan sing resik, inert, lan dilindhungi ing kamar deposisi, saengga bisa kapapar plasma lan suhu dhuwur sajrone proses deposisi utawa etsa. Tutup kamar Semicorex minangka komponen keramik tahan lama sing dilapisi silikon karbida kanthi metode deposisi uap kimia (CVD), sing apik kanggo ngadhepi lingkungan sing tantangan kasebut.