Semicorex wafer chucks digawe saka lapisan silikon karbida dening MOCVD wis cooling cepet lan panas resistance unggul, nyandhang resistance, urip layanan ekstra dawa. Iki minangka bahan sing apik kanggo nahan lan ndhukung piring kanggo wafer Si kanggo macem-macem proses sajrone produksi chip ing industri semikonduktor.
● Kaku
● expansion termal Low
● Bobot kurang