Semicorex Silicon Carbide-Coated Graphite Barrel minangka pilihan sing sampurna kanggo aplikasi manufaktur semikonduktor sing mbutuhake panas dhuwur lan tahan karat. Konduktivitas termal sing luar biasa lan sifat distribusi panas ndadekake becik digunakake ing proses LPE lan lingkungan suhu dhuwur liyane.
Nalika nerangake manufaktur semikonduktor, Semicorex Silicon Carbide-Coated Graphite Barrel minangka pilihan utama kanggo kinerja lan linuwih sing luar biasa. Lapisan SiC sing bermutu lan kapadhetan sing unggul lan konduktivitas termal nyedhiyakake distribusi lan perlindungan panas sing unggul sanajan ing lingkungan suhu dhuwur lan korosif sing paling tantangan.
Silikon Carbide-Coated Graphite Barrel njamin profil termal sing rata, njamin pola aliran gas laminar sing paling apik. Iki ngalangi kontaminasi utawa impurities saka nyebar menyang wafer, dadi becik kanggo nggunakake ing lingkungan cleanroom. Semicorex minangka pabrikan lan pemasok SiC Coated Graphite Susceptor skala gedhe ing China, lan produk kita duwe keuntungan rega sing apik. Kita ngarep-arep dadi mitra jangka panjang ing industri semikonduktor.
Parameter saka Silicon Carbide-Coated Graphite Barrel
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur Kristal |
Fase β FCC |
|
Kapadhetan |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran gandum |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuwatan Felexural |
MPa (RT 4-titik) |
415 |
Modulus Muda |
Gpa (4pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Ekspansi Termal (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur saka Silicon Carbide-Coated Graphite Barrel
- Loro-lorone substrat grafit lan lapisan karbida silikon duwe kapadhetan sing apik lan bisa nduwe peran protèktif sing apik ing suhu dhuwur lan lingkungan kerja sing korosif.
- Susceptor dilapisi silikon karbida sing digunakake kanggo pertumbuhan kristal tunggal nduweni flatness permukaan sing dhuwur banget.
- Ngurangi prabédan ing koefisien expansion termal antarane landasan grafit lan lapisan silikon karbida, èfèktif nambah kekuatan iketan kanggo nyegah retak lan delamination.
- Loro-lorone substrat grafit lan lapisan silikon karbida duwe konduktivitas termal sing dhuwur, lan sifat distribusi panas sing apik.
- Titik leleh dhuwur, tahan oksidasi suhu dhuwur, tahan korosi.