Semicorex's SiC-Coated Susceptor Barrel kanggo LPE Reactor Chamber minangka solusi sing dipercaya banget kanggo proses manufaktur semikonduktor, kanthi distribusi panas sing unggul lan sifat konduktivitas termal. Uga tahan banget kanggo korosi, oksidasi, lan suhu dhuwur.
Semicorex's SiC-Coated Susceptor Barrel for LPE Reactor Chamber minangka produk kualitas premium, digawe kanthi standar presisi lan daya tahan sing paling dhuwur. Nawakake konduktivitas termal sing apik, tahan karat, lan cocog banget kanggo aplikasi LPE ing manufaktur semikonduktor.
SiC-Coated Susceptor Barrel kanggo LPE Reactor Chamber dirancang kanggo entuk pola aliran gas laminar sing paling apik, njamin kerataan profil termal. Iki mbantu kanggo nyegah kontaminasi utawa panyebaran impurities, njamin wutah epitaxial kualitas dhuwur ing chip wafer.
Hubungi kita dina iki kanggo mangerteni sing luwih lengkap babagan SiC-Coated Susceptor Barrel kanggo LPE Reactor Chamber.
Parameter SiC-Coated Susceptor Barrel kanggo LPE Reactor Chamber
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur Kristal |
Fase FCC β |
|
Kapadhetan |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran gandum |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas panas |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuwatan Felexural |
MPa (RT 4-titik) |
415 |
Modulus Young |
Gpa (4pt bend, 1300â) |
430 |
Ekspansi Termal (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur SiC-Coated Susceptor Barrel kanggo LPE Reactor Chamber
- Loro-lorone landasan grafit lan lapisan silikon karbida duwe kapadhetan sing apik lan bisa nduwe peran protèktif sing apik ing suhu dhuwur lan lingkungan kerja sing korosif.
- Susceptor dilapisi silikon karbida sing digunakake kanggo pertumbuhan kristal tunggal nduweni flatness permukaan sing dhuwur banget.
- Ngurangi prabédan ing koefisien expansion termal antarane landasan grafit lan lapisan silikon karbida, èfèktif nambah kekuatan iketan kanggo nyegah retak lan delamination.
- Loro-lorone substrat grafit lan lapisan silikon karbida duwe konduktivitas termal sing dhuwur, lan sifat distribusi panas sing apik.
- Titik leleh dhuwur, tahan oksidasi suhu dhuwur, tahan korosi.