SiC Coated Graphite Barrel Susceptor

Yen sampeyan nggoleki susceptor grafit kinerja dhuwur kanggo digunakake ing aplikasi manufaktur semikonduktor, Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor minangka pilihan sing cocog. Konduktivitas termal sing luar biasa lan sifat distribusi panas dadi pilihan kanggo kinerja sing dipercaya lan konsisten ing lingkungan suhu dhuwur lan korosif.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

The Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor minangka pilihan sampurna kanggo aplikasi manufaktur semikonduktor sing mbutuhake distribusi panas lan konduktivitas termal sing luar biasa. Lapisan SiC sing kemurnian dhuwur lan kapadhetan unggul nyedhiyakake proteksi sing unggul lan sifat distribusi panas, njamin kinerja sing dipercaya lan konsisten sanajan ing lingkungan sing paling tantangan.

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor dirancang kanggo entuk pola aliran gas laminar sing paling apik, njamin kerataan profil termal. Iki mbantu kanggo nyegah kontaminasi utawa panyebaran impurities, njamin wutah epitaxial kualitas dhuwur ing chip wafer.

Hubungi kita dina iki kanggo mangerteni sing luwih lengkap babagan SiC Coated Graphite Barrel Susceptor.

Parameter saka SiC Coated Graphite Barrel Susceptor

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
SiC-CVD Properties
Struktur Kristal	Fase β FCC
Kapadhetan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran gandum	μm	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuwatan Felexural	MPa (RT 4-titik)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur SiC Coated Graphite Barrel Susceptor

- Loro-lorone substrat grafit lan lapisan karbida silikon duwe kapadhetan sing apik lan bisa nduwe peran protèktif sing apik ing suhu dhuwur lan lingkungan kerja sing korosif.

- Susceptor dilapisi silikon karbida sing digunakake kanggo pertumbuhan kristal tunggal nduweni flatness permukaan sing dhuwur banget.

- Ngurangi prabédan ing koefisien expansion termal antarane landasan grafit lan lapisan silikon karbida, èfèktif nambah kekuatan iketan kanggo nyegah retak lan delamination.

- Loro-lorone substrat grafit lan lapisan silikon karbida duwe konduktivitas termal sing dhuwur, lan sifat distribusi panas sing apik.

- Titik leleh dhuwur, tahan oksidasi suhu dhuwur, tahan korosi.