Kanthi Kapadhetan unggul lan konduktivitas termal, Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor kanggo Epitaxial Growth minangka pilihan sing cocog kanggo digunakake ing lingkungan suhu dhuwur lan korosif. Dilapisi SiC kemurnian dhuwur, produk grafit iki nyedhiyakake proteksi lan distribusi panas sing apik, njamin kinerja sing dipercaya lan konsisten ing aplikasi manufaktur semikonduktor.
The Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor kanggo Epitaxial Growth minangka pilihan sing sampurna kanggo pembentukan lapisan epixial ing wafer semikonduktor, amarga sifat konduktivitas termal lan distribusi panas sing apik. Lapisan silikon karbida menehi proteksi sing unggul sanajan ing lingkungan suhu dhuwur lan korosif sing paling nuntut.
Ing Semicorex, kita fokus nyedhiyakake produk sing berkualitas tinggi lan biaya-efektif kanggo para pelanggan. SiC Coated Barrel Susceptor kanggo Epitaxial Growth duweni kauntungan rega lan diekspor menyang akeh pasar Eropa lan Amerika. Kita ngarahake dadi mitra jangka panjang, ngirim produk kualitas sing konsisten lan layanan pelanggan sing luar biasa.
Parameter SiC Coated Barrel Susceptor kanggo Epitaxial Growth
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur Kristal |
Fase FCC β |
|
Kapadhetan |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran gandum |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas panas |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuwatan Felexural |
MPa (RT 4-titik) |
415 |
Modulus Young |
Gpa (4pt bend, 1300â) |
430 |
Ekspansi Termal (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur SiC Coated Barrel Susceptor kanggo Epitaxial Growth
- Loro-lorone landasan grafit lan lapisan silikon karbida duwe kapadhetan sing apik lan bisa nduwe peran protèktif sing apik ing suhu dhuwur lan lingkungan kerja sing korosif.
- Susceptor dilapisi silikon karbida sing digunakake kanggo pertumbuhan kristal tunggal nduweni flatness permukaan sing dhuwur banget.
- Ngurangi prabédan ing koefisien expansion termal antarane landasan grafit lan lapisan silikon karbida, èfèktif nambah kekuatan iketan kanggo nyegah retak lan delamination.
- Loro-lorone substrat grafit lan lapisan silikon karbida duwe konduktivitas termal sing dhuwur, lan sifat distribusi panas sing apik.
- Titik leleh dhuwur, tahan oksidasi suhu dhuwur, tahan korosi.