Semicorex RTP SiC Coating Carrier nawakake tahan panas sing unggul lan keseragaman termal, dadi solusi sampurna kanggo aplikasi pangolahan wafer semikonduktor. Kanthi grafit sing dilapisi SiC sing bermutu, produk iki dirancang kanggo tahan lingkungan deposisi sing paling angel kanggo pertumbuhan epitaxial. Konduktivitas termal sing dhuwur lan sifat distribusi panas sing apik njamin kinerja sing dipercaya kanggo RTA, RTP, utawa reresik kimia sing atos.
Pembawa Lapisan SiC RTP kita direkayasa kanggo nahan kahanan sing paling angel ing lingkungan deposisi. Kanthi tahan panas lan karat sing dhuwur, susceptor epitaksi kena lingkungan deposisi sing sampurna kanggo pertumbuhan epitaxial. Lapisan kristal SiC sing apik ing operator njamin permukaan sing lancar lan daya tahan sing dhuwur tumrap reresik kimia, dene materi kasebut direkayasa kanggo nyegah retakan lan delaminasi.
Ing Semicorex, kita fokus nyedhiyakake operator lapisan RTP SiC sing berkualitas tinggi, biaya-efektif, kita prioritasake kepuasan pelanggan lan menehi solusi sing larang regane. We look nerusake kanggo dadi partner long-term Panjenengan, ngirimke produk kualitas lan layanan customer ngédap.
Hubungi kita dina iki kanggo mangerteni sing luwih lengkap babagan RTP SiC Coating Carrier.
Parameter saka RTP SiC Coating Carrier
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
SiC-CVD Properties |
||
Struktur Kristal |
Fase β FCC |
|
Kapadhetan |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran gandum |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuwatan Felexural |
MPa (RT 4-titik) |
415 |
Modulus Muda |
Gpa (4pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Ekspansi Termal (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur saka RTP SiC Coating Carrier
Kemurnian dhuwur SiC dilapisi grafit
Tahan panas sing unggul & keseragaman termal
Dilapisi kristal SiC sing apik kanggo permukaan sing mulus
Daya tahan dhuwur marang reresik kimia
Bahan dirancang supaya retak lan delaminasi ora kedadeyan.