SiC Coating Pancake Susceptor

SemicorexLapisan SiCPancake Susceptor minangka bagean generasi sabanjure kanggo instalasi ing sistem MOCVD Deposisi Uap Kimia Organik Logam. Sistem iki minangka bagéyan penting saka mekanisme ing ngendi lapisan epitaxial disimpen ing macem-macem substrat. Susceptor khusus sing ditampilake ing kene khusus kanggo aplikasi semikonduktor, utamane kanggo pabrikan LED, piranti daya dhuwur, lan piranti RF. Substrat sing digunakake ing aplikasi kasebut asring mbutuhake lapisan epitaxial sing bisa dibentuk ing bahan kayata safir utawa konduktif lan semi-insulasi SiC. SiC Coating Pancake Susceptor iki menehi kinerja sing apik banget ing reaktor MOCVD kanthi deposisi sing efisien, dipercaya, lan tepat.

Iki misuwur ing industri semikonduktor amarga sifat materi sing apik banget, konstruksi sing padhet, lan kemampuan kanggo ngatur proses MOCVD tartamtu. Amarga panjaluk lapisan epitaxial berkualitas tinggi nambah daya lan aplikasi RF, milih Semicorex njamin sampeyan minangka produk paling apik sing nawakake kinerja paling optimal lan umur layanan sing dawa. Susceptor iki minangka basis kanggo wafer semikonduktor lan ditrapake sajrone proses nyetop lapisan epitaxial ing semikonduktor. Lapisan kasebut bisa digunakake kanggo nggawe piranti sing kalebu LED, HEMT, lan piranti semikonduktor daya kayata SBD lan MOSFET. Piranti kasebut kritis kanggo komunikasi modern, aplikasi elektronik daya dhuwur, lan optoelektronik.

Fitur lan Keuntungan

1. Konduktivitas Termal Dhuwur lan Distribusi Panas Seragam

Salah sawijining fitur utama SiC Coating Pancake Susceptor yaiku konduktivitas termal sing luar biasa. Materi kasebut nyedhiyakake distribusi panas sing seragam sajrone proses MOCVD, sing penting kanggo pertumbuhan lapisan epitaxial sing rata ing wafer semikonduktor. Konduktivitas termal sing dhuwur njamin substrat wafer dipanasake kanthi rata, nyuda gradien suhu lan nambah kualitas lapisan sing disimpen. Iki nyebabake keseragaman sing luwih apik, sifat materi sing luwih apik, lan asil sing luwih dhuwur sakabèhé.

2. Lapisan SiCkanggo Kekiatan Meningkat

Lapisan SiC nyedhiyakake solusi sing kuat kanggo nyandhang lan degradasi susceptor grafit sajrone proses MOCVD. Lapisan kasebut menehi resistensi dhuwur kanggo korosi saka prekursor logam-organik sing digunakake ing proses deposisi, sing sacara signifikan ngluwihi umur susceptor. Salajengipun, lapisan SiC nyegah bledug grafit saka kontaminasi wafer, faktor kritis kanggo njamin integritas lan kemurnian lapisan epitaxial.

Lapisan kasebut uga nambah kekuwatan mekanik sakabèhé susceptor, dadi luwih tahan kanggo suhu dhuwur, siklus termal, lan tekanan mekanik sing umum ing proses MOCVD. Iki nyebabake umur operasional sing luwih dawa lan nyuda biaya pangopènan.

3. Titik lebur dhuwur lan Resistance Oksidasi

The SiC Coating Pancake Susceptor direkayasa kanggo operate ing suhu sing ekstrem, kanthi lapisan SiC njamin resistensi kanggo oksidasi lan karat ing suhu dhuwur. Titik leleh dhuwur lapisan kasebut ngidini susceptor tahan suhu dhuwur sing khas ing reaktor MOCVD tanpa ngrusak utawa ilang integritas struktural. Properti iki penting banget kanggo njamin linuwih jangka panjang ing lingkungan manufaktur semikonduktor kanthi throughput dhuwur.

4. Flatness lumahing banget

Flatness lumahing SiC Coating Pancake Susceptor kritis kanggo posisi sing tepat lan pemanasan seragam saka wafer sajrone proses pertumbuhan epitaxial. Lapisan kasebut nyedhiyakake permukaan sing rata lan rata sing njamin wafer ditahan kanthi rata, supaya ora konsisten ing proses deposisi. Tingkat flatness sing dhuwur iki penting banget kanggo tuwuhing piranti presisi dhuwur kayata LED lan semikonduktor daya, ing ngendi keseragaman penting kanggo kinerja piranti.

5. High Bond Strength lan Kompatibilitas Thermal

Kekuwatan ikatan antarane lapisan SiC lan substrat grafit ditambah karo kompatibilitas termal materi. Koefisien ekspansi termal saka lapisan SiC lan basa grafit cocog banget, sing nyuda resiko retak utawa delaminasi ing siklus suhu. Properti iki penting kanggo njaga integritas struktur susceptor sajrone siklus pemanasan lan pendinginan sing bola-bali ing proses MOCVD.

6. Customizable kanggo Various Aplikasi

Semicorex mangertos kabutuhan macem-macem industri semikonduktor, lan SiC Coating Pancake Susceptor bisa disesuaikan kanggo nyukupi syarat proses tartamtu. Apa digunakake ing produksi LED, fabrikasi piranti daya, utawa manufaktur komponen RF, susceptor bisa disesuaikan kanggo ukuran wafer beda, wangun, lan syarat termal. Fleksibilitas iki njamin yen SiC Coating Pancake Susceptor cocok kanggo macem-macem aplikasi ing industri semikonduktor.

Aplikasi ing Manufaktur Semikonduktor

Lapisan SiC Pancake Susceptor utamane digunakake ing sistem MOCVD, teknologi penting kanggo pertumbuhan lapisan epitaxial sing berkualitas tinggi. Susceptor ndhukung macem-macem substrat semikonduktor, kalebu sapir, silikon karbida (SiC), lan GaN, digunakake kanggo produksi piranti kayata LED, piranti semikonduktor daya, lan piranti RF. Manajemen termal sing unggul lan daya tahan saka SiC Coating Pancake Susceptor mesthekake yen piranti kasebut diprodhuksi kanggo nyukupi syarat kinerja elektronik modern sing nuntut.

Ing produksi LED, SiC Coating Pancake Susceptor digunakake kanggo tuwuh lapisan GaN ing substrat sapir, ing ngendi konduktivitas termal sing dhuwur njamin lapisan epitaxial seragam lan bebas saka cacat. Kanggo piranti daya, kayata MOSFET lan SBD, susceptor nduweni peran penting ing pertumbuhan lapisan epitaxial SiC, sing penting kanggo nangani arus lan voltase dhuwur. Kajaba iku, ing produksi piranti RF, SiC Coating Pancake Susceptor ndhukung pertumbuhan lapisan GaN ing substrat SiC semi-insulating, mbisakake fabrikasi HEMT sing digunakake ing sistem komunikasi.

Milih Semicorex kanggo kabutuhan SiC Coating Pancake Susceptor mesthekake yen sampeyan entuk produk sing ora mung cocog nanging ngluwihi standar industri kanggo kualitas, kinerja, lan daya tahan. Kanthi fokus ing teknik presisi, pilihan materi sing unggul, lan kustomisasi, produk Semicorex dirancang kanggo nyedhiyakake kinerja sing optimal ing sistem MOCVD. Susceptor kita mbantu nyepetake proses produksi sampeyan, njamin lapisan epitaxial berkualitas tinggi lan nyuda downtime. Kanthi Semicorex, sampeyan entuk mitra sing dipercaya kanggo sukses ing manufaktur semikonduktor.