Yen sampeyan mbutuhake susceptor grafit karo konduktivitas termal ngédap lan sifat distribusi panas, katon ora luwih saka Semicorex Inductively Heated Barrel Epi System. Lapisan SiC kemurnian dhuwur menehi proteksi sing unggul ing lingkungan suhu dhuwur lan korosif, dadi pilihan sing cocog kanggo digunakake ing aplikasi manufaktur semikonduktor.
Sistem Epi Barel Induktif Induktif Semicorex minangka pilihan sing sampurna kanggo aplikasi manufaktur semikonduktor sing mbutuhake distribusi panas lan konduktivitas termal sing luar biasa. Lapisan SiC sing kemurnian dhuwur lan kapadhetan unggul nyedhiyakake proteksi sing unggul lan sifat distribusi panas, njamin kinerja sing dipercaya lan konsisten sanajan ing lingkungan sing paling tantangan.
Ing Semicorex, kita fokus nyedhiyakake produk sing berkualitas tinggi lan biaya-efektif kanggo para pelanggan. Sistem Epi Barel sing Dipanasake Induktif duwe kauntungan rega lan diekspor menyang pasar Eropa lan Amerika. Kita ngarahake dadi mitra jangka panjang, ngirim produk kualitas sing konsisten lan layanan pelanggan sing luar biasa.
Parameter Sistem Epi Barel Dipanaskan Induktif
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
SiC-CVD Properties |
||
Struktur Kristal |
Fase β FCC |
|
Kapadhetan |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran gandum |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuwatan Felexural |
MPa (RT 4-titik) |
415 |
Modulus Muda |
Gpa (4pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Ekspansi Termal (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur Sistem Epi Barel Dipanaskan Induktif
- Loro-lorone substrat grafit lan lapisan karbida silikon duwe kapadhetan sing apik lan bisa nduwe peran protèktif sing apik ing suhu dhuwur lan lingkungan kerja sing korosif.
- Susceptor dilapisi silikon karbida sing digunakake kanggo pertumbuhan kristal tunggal nduweni flatness permukaan sing dhuwur banget.
- Ngurangi prabédan ing koefisien expansion termal antarane landasan grafit lan lapisan silikon karbida, èfèktif nambah kekuatan iketan kanggo nyegah retak lan delamination.
- Loro-lorone substrat grafit lan lapisan silikon karbida duwe konduktivitas termal sing dhuwur, lan sifat distribusi panas sing apik.
- Titik leleh dhuwur, tahan oksidasi suhu dhuwur, tahan korosi.