Kanthi kapadhetan lan konduktivitas termal sing apik, Susceptor Barrel SiC-Coated Semicorex Durable kanggo LPE minangka pilihan sing cocog kanggo digunakake ing proses LPE lan aplikasi manufaktur semikonduktor liyane. Lapisan SiC kemurnian dhuwur menehi proteksi sing unggul lan sifat distribusi panas, dadi pilihan kanggo asil sing dipercaya lan konsisten.
Yen sampeyan butuh susceptor grafit kanthi kualitas dhuwur kanthi tahan panas lan tahan korosi, ora katon luwih saka Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Susceptor kanggo LPE. Lapisan karbida silikon nyedhiyakake konduktivitas termal lan distribusi panas sing luar biasa, njamin kinerja sing dipercaya lan konsisten sanajan ing lingkungan suhu dhuwur sing paling nuntut.
Susceptor Barrel SiC-Coated Awet kanggo LPE dirancang kanggo entuk pola aliran gas laminar sing paling apik, njamin kerataan profil termal. Iki mbantu kanggo nyegah kontaminasi utawa panyebaran impurities, njamin wutah epitaxial kualitas dhuwur ing chip wafer.
Hubungi kita dina iki kanggo mangerteni sing luwih lengkap babagan Susceptor Barrel SiC-Coated Awet kanggo LPE.
Parameter Susceptor Barel SiC-Coated Awet kanggo LPE
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur Kristal |
Fase FCC β |
|
Kapadhetan |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran gandum |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas panas |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuwatan Felexural |
MPa (RT 4-titik) |
415 |
Modulus Young |
Gpa (4pt bend, 1300â) |
430 |
Ekspansi Termal (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur Susceptor Barel SiC-Coated Awet kanggo LPE
- Loro-lorone landasan grafit lan lapisan silikon karbida duwe kapadhetan sing apik lan bisa nduwe peran protèktif sing apik ing suhu dhuwur lan lingkungan kerja sing korosif.
- Susceptor dilapisi silikon karbida sing digunakake kanggo pertumbuhan kristal tunggal nduweni flatness permukaan sing dhuwur banget.
- Ngurangi prabédan ing koefisien expansion termal antarane landasan grafit lan lapisan silikon karbida, èfèktif nambah kekuatan iketan kanggo nyegah retak lan delamination.
- Loro-lorone substrat grafit lan lapisan silikon karbida duwe konduktivitas termal sing dhuwur, lan sifat distribusi panas sing apik.
- Titik leleh dhuwur, tahan oksidasi suhu dhuwur, tahan korosi.