Pemanas Nitride Aluminium

Pemanas Nitretum Semikorex Aluminium minangka unsur pemanasan keramik keramik-kanggo-saka-saka-Art sing dirancang kanggo aplikasi sing njaluk konduktivitas termal, insulasi listrik, lan daya tahan sing luar biasa. Engineered saka keramik aluminium nitride, pemanas kasebut nyedhiyakake pemanasan kanthi cepet lan seragam, nggawe dheweke cocog kanggo pangolahan semikonduktor, diagnosaisme maju.

Pemanas nitreri aluminium minangka komponen utama ing peralatan setandian film tipis ing semikonduktor. Dheweke ditrapake langsung menyang ruangan proses lan kontak langsung karo wafer. Dheweke ora mung nggawa wafer, nanging uga mesthekake yen wafer entuk a 

Suhu proses stabil lan seragam. Fitur iki penting kanggo reaksi tliti kanthi tliti ing permukaan wafer lan generasi film tipis seragam.

Biasane, Pemanas Nitride Aluminium kalebu landasan keramik kanthi permukaan loading wafer lan awak dhukungan silinder sing ndhukung ing mburi. Saliyane sirkuit pemanasan sing tahan kanggo pemanasan, elektréda RF lan elektrostatik Chuck Elektrosstatik lan konduktor liyane uga diwenehake ing njero utawa ing permukaan lanam keramik.

Peralatan deposisi film tipis biasane nggunakake bahan keramik adhedhasarAluminium Nitride (Aln)Amarga melu lingkungan suhu sing dhuwur. Alesan kenapa pemanas nitridum aluminium luwih disenengi ing produsen semikonduktor utamane amarga sifat fisik lan kimia sing unik. Nitride aluminium ora mung duwe konduktivitas termal sing dhuwur lan bisa nggayuh pemanasan kanthi cepet ing wektu sing cendhak, nanging uga duwe insulasi listrik sing apik lan kekuwatan mekanik, mesthekake stabil. Kajaba iku, koefisien ekspansi termal Nitride padha karo silikon, sing mbantu nyuda pengaruh stres termal ing wafer lan nambah asil proses.

Umume ngomong,Pemanas KeramikDigunakake utamane ing peralatan pemendepan film tipis. Amarga melu proses suhu sing dhuwur, bahan keramik sing digunakake utamane kanggo aluminium nitride; Chuckrostatic utamane digunakake ing peralatan etching, lan bahan keramik sing digunakake utamane aluminium oksida. Kanthi pangembangan teknologi semikonduktor, ana tumpang tindih ing antarane pemanas keramik lan potongan elektrostatik. Contone, pemanas keramik sing digunakake ing peralatan pemantau film tipis dilengkapi bathuk electrostatic, sing duwe fungsi dual pemanasan suhu suhu dhuwur lan adsorsposti electrostatic. Bunder electrostatic sing digunakake ing peralatan etching uga miwiti proses suhu suhu, lan materi keramik kudu diganti saka aluminium oksida menyang aluminium nitride.