Aluminium Nitride Keramik Chuck

Aluminium Nitride Keramik Chuck nggantosi solusi nglereni-pinggiran kanggo Processing wafer semikonduktor, dirancang khusus kanggo aman wafers ing Panggonan sak macem-macem orane tumrap sekolah saka manufaktur. Berfungsi minangka chuck elektrostatik (ESC), piranti inovatif iki nggunakake sifat luar biasa saka keramik Aluminium Nitride kanggo njamin retensi wafer sing tepat lan dipercaya.

Semicorex Aluminium Nitride Ceramic Chuck nggunakake gaya elektrostatik kanggo nyekel wafer kanthi kuat ing permukaane. Iki digayuh liwat platen tliti direkayasa nampilaken elektroda integral, kang strategis bias karo voltase dhuwur. Akibaté, pasukan nyekeli elektrostatik ditetepake antarane platen lan wafer, èfèktif immobilizing wafer ing Panggonan saindhenging orane tumrap sekolah Processing.

Salah siji fitur standout saka Aluminium Nitride Keramik Chuck iku kombinasi apik banget saka konduktivitas termal dhuwur lan sifat jampel. Campuran karakteristik unik iki ndadekake pilihan materi sing cocog kanggo aplikasi ESC. Konduktivitas termal sing dhuwur njamin boros panas sing efisien, penting kanggo njaga distribusi suhu seragam ing wafer sajrone proses. Bebarengan, sifat insulasi sing luar biasa nyedhiyakake isolasi listrik ing antarane chuck lan wafer, nyuda resiko gangguan listrik utawa karusakan komponen semikonduktor sensitif.

Aluminium Nitride Keramik Chuck nawakake sawetara kaluwihan saka bahan chuck tradisional. Konstruksi sing kuat njamin daya tahan jangka panjang, bisa nahan tuntutan lingkungan manufaktur semikonduktor sing ketat. Kajaba iku, kompatibilitas karo pangolahan suhu dhuwur lan resistensi ekspansi termal dadi alat sing penting kanggo entuk asil pangolahan wafer sing konsisten lan berkualitas.