Aluminium Nitride Elektrostatik Chucks

Chucks Elektrostatik Aluminium Nitride nggunakake gaya elektrostatik kanggo nahan wafer kanthi aman sajrone macem-macem proses fabrikasi semikonduktor. Cara iki ngilangi kabutuhan klem mekanik utawa sistem vakum, nyuda resiko pembentukan partikel lan stres mekanik ing wafer sing alus. Salah sawijining mupangat utama saka Aluminium Nitride Electrostatic Chucks yaiku kemampuan kanggo ngasilake gaya elektrostatik sing seragam lan stabil ing kabeh permukaan wafer. Iki njamin kontak sing konsisten lan nyegah slippage wafer utawa deformasi sajrone pangolahan, ndadékaké keseragaman sing luwih apik ing film sing disimpen, fitur etched, lan paramèter kritis liyane. Pasukan clamping seragam iki uga nyilikake distorsi wafer, anjog kanggo kinerja piranti apik lan ngasilaken.

Kanggo sifat termal, konduktivitas termal sing dhuwur ing Aluminium Nitride Electrostatic Chucks ngidini boros panas sing efisien sajrone proses suhu dhuwur, nyegah stres termal lan njamin distribusi suhu seragam ing wafer. Iki penting ing aplikasi kaya pangolahan termal kanthi cepet lan etsa plasma, ing ngendi pemanasan lokal bisa nyebabake kinerja piranti. Kajaba iku, proses manufaktur semikonduktor asring nglibatake transisi suhu kanthi cepet. Rintangan kejut termal sing dhuwur saka Aluminium Nitride Electrostatic Chucks ngidini kanggo nahan owah-owahan suhu dadakan iki tanpa degradasi utawa retak, njamin umure chuck lan kinerja sing bisa dipercaya sajrone nggunakake lengkap. Apa maneh, AlN nduweni koefisien ekspansi termal (CTE) sing cocog karo wafer silikon. Kompatibilitas iki nyuda stres sing disebabake ing antarmuka wafer-chuck sajrone siklus termal, nyegah busur wafer, distorsi, lan cacat potensial sing bisa nyebabake asil lan kinerja piranti.

AlN minangka bahan sing kuat kanthi mekanik kanthi kekuatan lentur sing dhuwur lan ketangguhan patah. Kekuwatan bawaan iki ngidini Aluminium Nitride Electrostatic Chucks nahan tekanan mekanik sing ditemoni sajrone manufaktur volume dhuwur, njamin kinerja sing konsisten lan umur operasional sing luwih dawa. Ing tangan liyane, AlN nduduhake resistance banget kanggo sawetara saka sudhut bahan kimia lan plasma umum digunakake ing Processing semikonduktor. Uga nuduhake resistensi oksidasi sing unggul sanajan ing suhu sing luwih dhuwur, njamin permukaan Aluminium Nitride Electrostatic Chucks tetep resik lan ora kontaminasi sajrone operasionale.

Semicorex Aluminium Nitride Electrostatic Chucks kasedhiya ing macem-macem ukuran lan kekandelan kanggo nampung diameter wafer beda lan syarat proses. Kemampuan adaptasi iki ndadekake dheweke cocog kanggo macem-macem aplikasi manufaktur semikonduktor, saka riset lan pangembangan nganti produksi volume dhuwur.