Pemanas Aln

Semikorex Aln Pemanas kanggo semikonduktor minangka piranti sing digunakake kanggo bahan semikonduktor. Biasane digawe sakaKeramik Nitride AluminiumMaterial, duwe konduktivitas termal lan resistensi suhu sing apik, lan bisa digunakake kanthi suhu kanthi suhu sing dhuwur. Pemanas biasane nggunakake kawat resistansi minangka unsur pemanasan. Kanthi negesake kawat resistensi kanggo panas, panas ditransfer menyang permukaan pemanas kanggo entuk pemanasan materi semikonduktor. Aln Pemanas kanggo semikonduktor nduweni peran penting ing proses produksi semikonduktor lan bisa digunakake ing proses kayata pertumbuhan kristal, annealing, lan manggang.

Ing proses ngarep (fol) manufaktur semikonduktor, macem-macem perawatan sing kudu ditindakake ing wafer, utamane pemanasan babagan suhu tartamtu, lan ana keseragaman suhu duwe pengaruh sing penting banget kanggo ngasilake produk; Ing wektu sing padha, peralatan semikonduktor uga kudu kerja ing lingkungan ing ngendi vakum, plasma lan gas sing ana, sing mbutuhake panggunaan pemanas keramik (pemanas keramik). Pemanas keramik minangka komponen penting ing Semikonduktor Peralatan Eqeption Film Likik Semikonduktor. Iki digunakake ing kamar proses lan langsung hubungi wafer kanggo nindakake lan ngaktifake wafer kanggo entuk suhu proses stabil lan kanggo ngasilake lan ngasilake film sing luwih tipis kanthi tliti kanthi tliti.

Depepisi film tipis Peralatan kanggo pemanas keramik umume nggunakake bahan keramik adhedhasarAluminium Nitride (Aln)amarga suhu sing dhuwur. Nitride aluminium duwe penebat listrik lan konduktivitas termal sing apik; Kajaba iku, koefisi ekspansi termal yaiku cedhak karo silikon, lan nduweni resistensi plasma sing apik, kanthi cocog banget kanggo digunakake minangka komponen piranti semikonduktor.

Pemanas Aln kalebu basis keramik sing nggawa wafer, lan awak dhukungan silinder sing ndhukung ing mburi. Ing njero utawa ing permukaan basis keramik, saliyane unsur resistansi (lapisan pemanasan) kanggo pemanasan, uga ana electrode RF (RF). Kanggo nggayuh pemanasan lan pendinginan kanthi cepet, kekandelan pangkalan keramik kudu lancip, nanging lancip uga tipis uga bakal nyuda kaku. Badan dhukungan pemanas Aln digawe umume digawe saka bahan kanthi coefer sing padha karo dhasar kasebut, saengga awak dhukungan asring uga digawe saka nitrida aluminium. Pemanasan Aln nganggo struktur unik saka ngisor garansi (batang) ing ngisor kanggo nglindhungi terminal lan kabel saka efek plasma lan gas kimia korosif. Pipa inlet gas transfer panas diwenehake ing awak dhukungan kanggo njamin suhu seragam pemanas pemanas. Dasar lan awak dhukungan ikatan kimia karo lapisan ikatan.

Unsur pemanasan resa dikubur ing basa pemanas. Iki dibentuk kanthi nyithak layar kanthi tempel konduktif (tungsten, molybdenum utawa tantalum) kanggo mbentuk pola circuit spiral utawa concentric. Mesthi wae, kabel logam, bolong logam, foil logam, sapiturute uga bisa digunakake. Nalika nggunakake cara percetakan layar, rong piring keramik sing padha disiapake, lan tempel konduksi ditrapake ing permukaan salah sawijining. Banjur, wis nyeret kanggo mbentuk unsur pemanasan sing tahan, lan piring keramik liyane dilapisi karo unsur pemanasan sing tahan kanggo nggawe resistor unsur sing dikubur ing pangkalan.

Faktor utama sing mengaruhi konduktivitas termal saka keramik nitride aluminium yaiku kapadhetan kisi, oksigen, sing bakal mengaruhi tumindak termal kerarmal kerarmal.