Semicorex nyedhiyakake macem-macem jinis wafer 4H lan 6H SiC. Kita wis dadi produsen lan pemasok produk silikon karbida sajrone pirang-pirang taun. HPSI SiC Wafer Semi-Insulating 6 Inch sing dipoles kaping pindho duwe kauntungan rega sing apik lan nutupi sebagian besar pasar Eropa lan Amerika. We look nerusake kanggo dadi partner long-term ing China.
Semicorex duwe garis produk wafer silikon karbida (SiC), kalebu substrat 4H lan 6H kanthi wafer semi-insulating tipe-N, P-jinis lan kemurnian dhuwur, bisa nganggo utawa tanpa epitaksi.
Dhiameter 6 inci saka 6 Inch Semi-Insulating HPSI SiC Wafer kita nyedhiyakake area lumahing gedhe kanggo manufaktur piranti elektronik daya kayata MOSFET, dioda Schottky, lan aplikasi voltase dhuwur liyane. 6 Inch Semi-Insulating HPSI SiC Wafer utamane digunakake ing komunikasi 5G, sistem radar, kepala pandhuan, komunikasi satelit, pesawat tempur lan lapangan liyane, kanthi kaluwihan nambah jangkauan RF, identifikasi jarak jarak ultra-panjang, anti-jamming lan dhuwur. -kacepetan, aplikasi transfer informasi kapasitas dhuwur, dianggep landasan paling becik kanggo nggawe piranti daya gelombang mikro.
Spesifikasi:
â Dhiameter: 6â³
âPolesan kaping pindho
â Kelas: Produksi, Riset, Dummy
â 4H-SiC HPSI Wafer
â Ketebalan: 500±25 μm
â Kapadhetan Micropipe: â¤1 ea/cm2~ â¤15 ea/cm2
barang |
Produksi |
Riset |
goblok |
Parameter Kristal |
|||
Politipe |
4H |
||
Orientasi lumahing ing sumbu |
<0001 > |
||
Orientasi lumahing off-axis |
0±0.2° |
||
(0004)FWHM |
â¤45arcsec |
â¤60arcsec |
â¤1OOarcsec |
Parameter Listrik |
|||
Jinis |
HPSI |
||
Resistivity |
â¥1 E8ohm·cm |
100% area > 1 E5ohm·cm |
70% area > 1 E5ohm·cm |
Parameter Mekanik |
|||
Dhiameter |
150±0,2 mm |
||
kekandelan |
500±25 μm |
||
Orientasi flat utama |
[1-100] ± 5 ° utawa kedudukan |
||
Dawane warata utami / ambane |
47,5±1,5mm utawa 1 - 1,25mm |
||
TTV |
â¤5 μm |
â¤10 μm |
â¤15 μm |
LTV |
â¤3 μm (5mm * 5mm) |
â¤5 μm (5mm * 5mm) |
â¤10 μm (5mm * 5mm) |
gandhewo |
-15 μm ~ 15 μm |
-35 μm ~ 35 μm |
-45μm ~ 45μm |
Warp |
â¤35 μm |
â¤45 μm |
â¤55 μm |
Kekasaran ngarep (Si-face) (AFM) |
Raâ¤0.2nm (5μm*5μm) |
||
Struktur |
|||
Kapadhetan micropipe |
â¤1 ea/cm2 |
â¤10 ea/cm2 |
â¤15 ea/cm2 |
Kapadhetan inklusi karbon |
â¤1 ea/cm2 |
NA |
|
Kekosongan heksagonal |
ora ana |
NA |
|
Kotoran logam |
â¤5E12atom/cm2 |
NA |
|
Kualitas ngarep |
|||
Ngarep |
Si |
||
Rampung lumahing |
Si-face CMP |
||
partikel |
â¤60ea/wafer (ukuranâ¥0.3μm) |
NA |
|
Goresan |
â¤5ea/mm. Dawane kumulatif â¤Diameter |
Dawane kumulatifâ¤300mm |
NA |
Kulit jeruk / pit / noda / striations / retak / kontaminasi |
ora ana |
NA |
|
Pinggir chip / indents / fraktur / piring hex |
ora ana |
||
Wilayah politipe |
ora ana |
Area kumulatifâ¤20% |
Area kumulatifâ¤30% |
Tandha laser ngarep |
ora ana |
||
Kualitas mburi |
|||
Rampung mburi |
C-pasuryan CMP |
||
Goresan |
â¤5ea/mm, Dawane kumulatifâ¤2*Diameter |
NA |
|
Cacat mburi (keripik pinggir / indentasi) |
ora ana |
||
Kasar mburi |
Raâ¤0.2nm (5μm*5μm) |
||
Tandha laser mburi |
"SEMI" |
||
pinggiran |
|||
pinggiran |
Chamfer |
||
Kemasan |
|||
Kemasan |
Epi-siap karo kemasan vakum Kemasan kaset multi-wafer |
||
* Cathetan "NA" tegese ora ana panjaluk. Item sing ora kasebut bisa ngarujuk menyang SEMI-STD. |