Chuck keramik keropos yaiku clamping bahan kerja lan solusi ndandani sing unggul dirancang khusus kanggo manufaktur semikonduktor. Milih semikoreks tegese sampeyan bakal entuk manfaat saka layanan khusus, kustomisasi lan tambah produktivitas.
DisesuaikanChuck Keramik Porousngemot dhasar lan piring keramik sing keropos. Nyambung menyang sistem vakum, lingkungan tekanan rendah digawe kanthi ngungsi ing antarane wafer lan keramik. Ing tekanan negatif vakum, wafer kasebut tetep ing lumahing Chuck, pungkasane entuk fiksasi sing aman lan stabil lan stabil.
Semikoreks terus-terusan prioritas kabutuhan dana kanggo para pelanggan sing dihargai nalika nyedhiyakake layanan sing bisa dibayar lan pribadi. Kita nawakake macem-macem pilihan pilihan kanggo ngasilake manawa final keramik kerus sing bisa adaptasi kanggo kerja lan ukuran operasi lan stabilitas produksi kanthi efektif.
Spesifikasi:
|
Ukuran |
4 inci / 6 inci / 8 inci / 12 inci |
|
Flatness |
2μm / 2μm / 3μm / 3μm utawa ndhuwur |
|
Bahan saka piring keramik keros |
Alumina lan silikon karbida |
|
Ukuran keramik pore |
5-50μm |
|
Porosity keramik keropos |
35% -50% |
|
Fungsi anti-statis |
Opsional |
|
Bahan dhasar |
Baja tahan karat, alloy aluminium lan keramik (karbida silikon) |
Chuck keramik keramik sing digawe khusus kanggo nyedhiyakake distribusi Tenaga Usorption sing seragam ing permukaan workpiece, kanthi efektif nyegah ubah bentuk kerja utawa ora akurat. Kajaba iku, thanks kanggo resistensi karat kimia sing kuwat lan resistensi suhu dhuwur sing luar biasa, Chuckper Keramik sing luar biasa njaga operasi jangka panjang kanthi lingkungan jangka panjang kanthi tantangan lan kompleks.
Skenario aplikasi:
Pabrik semikonduktor: pangolahan wafer kayata wafer tipis, dicet, grinding, polonging; Depepensi uap kimia (CVD) lan proses uap fisik (proses uap fisik (PVD); implantasi ion.
2 .. Pabrik Cell Photovoltaic: Silicon Wafer Dicing, Clats, lan Kembang, lan kemasan ing sel photovoltaic.
3. Mesin Precision: clamping lan ndandani workpieces sing tipis, rapuh, utawa tliti.