Wafer Boat kanggo Proses Semikonduktor

Semicorex nyedhiyakake prau wafer, pedestal, lan operator wafer khusus kanggo konfigurasi vertikal / kolom lan horisontal. Kita wis dadi produsen lan supplier film lapisan silikon karbida sajrone pirang-pirang taun. Perahu Wafer kanggo Proses Semikonduktor duwe kauntungan rega sing apik lan nutupi sebagian besar pasar Eropa lan Amerika. We look nerusake kanggo dadi partner long-term ing China.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Semicorex SiC Wafer Boat kanggo Proses Semikonduktor, solusi utama kanggo penanganan wafer lan proteksi ing manufaktur semikonduktor. Kapal wafer kita kanggo proses semikonduktor digawe saka karbida silikon berkualitas tinggi, sing nduweni ketahanan sing apik kanggo karat lan tahan banget kanggo suhu dhuwur lan kejut termal. Keramik canggih nyedhiyakake ketahanan termal lan daya tahan plasma sing apik nalika nyuda partikel lan rereged kanggo operator wafer berkapasitas dhuwur.

Parameter Wafer Boat kanggo Proses Semikonduktor

Properti Teknis
Indeks	Unit	Nilai
Jeneng Material		Reaksi Sintered Silicon Carbide	Sintered Silicon Carbide Tanpa Tekanan	Silicon Carbide Recrystallized
Komposisi		RBSiC	SSiC	R-SiC
Akeh Kapadhetan	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Kekuatan lentur	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Kekuwatan Kompresi	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kekerasan	Knoop	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Konduktivitas termal	W/m.k	95	120	23
Koefisien Ekspansi Termal	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Panas spesifik	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Suhu maksimal ing udhara	℃	1200	1500	1600
Modulus elastik	Gpa	360	410	240

Fitur Wafer Boat kanggo Proses Semikonduktor

Tahan panas sing unggul & keseragaman termal
Dilapisi kristal SiC sing apik kanggo permukaan sing mulus
Daya tahan dhuwur marang reresik kimia
Bahan dirancang supaya retak lan delaminasi ora kedadeyan.