Grafit lapisan TaC digawe kanthi nutupi permukaan substrat grafit kanthi kemurnian dhuwur kanthi lapisan tantalum karbida sing apik kanthi proses Deposisi Uap Kimia (CVD) proprietary.
Tantalum karbida (TaC) minangka senyawa sing kasusun saka tantalum lan karbon. Nduwe konduktivitas listrik metalik lan titik leleh sing dhuwur banget, dadi bahan keramik sing tahan api sing dikenal kanthi kekuatan, kekerasan, lan tahan panas lan nyandhang. Titik lebur Tantalum Carbides puncaké watara 3880°C gumantung saka kemurnian lan duwé salah siji titik lebur paling dhuwur ing antarané senyawa biner. Iki ndadekake alternatif sing menarik nalika panjaluk suhu sing luwih dhuwur ngluwihi kemampuan kinerja sing digunakake ing proses epitaxial semikonduktor senyawa kayata MOCVD lan LPE.
Data materi saka Semicorex TaC Coating
Proyek |
Paramèter |
Kapadhetan |
14.3 (gm/cm³) |
Emisivitas |
0.3 |
CTE (× 10-6/K) |
6.3 |
Kekerasan (HK) |
2000 |
Resistance (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Stabilitas termal |
<2500 ℃ |
Owah-owahan Dimensi Grafit |
-10~-20um (nilai referensi) |
Ketebalan Coating |
≥20um nilai khas (35um±10um) |
|
|
Ing ndhuwur minangka nilai khas |
|
Semicorex TaC Coated Susceptor (Tantalum Carbide Coated Susceptor) minangka komponen khusus sing digunakake ing manufaktur semikonduktor lan aplikasi suhu dhuwur liyane. Semicorex setya nyedhiyakake produk kualitas kanthi rega sing kompetitif, kita ngarepake dadi mitra jangka panjang ing China.
Waca liyaneKirim PitakonanSemicorex Tantalum Carbide Coating Chuck minangka komponen sing direkayasa kanthi presisi sing dirancang kanggo digunakake ing lingkungan kanthi suhu dhuwur lan stres. Semicorex setya nyedhiyakake produk kualitas kanthi rega sing kompetitif, kita ngarepake dadi mitra jangka panjang ing China.
Waca liyaneKirim PitakonanSemicorex CVD TaC Coating Ring minangka komponen kinerja dhuwur sing dirancang kanggo nuntut aplikasi sing mbutuhake resistensi nyandhang, stabilitas termal, lan inertness kimia. Semicorex setya nyedhiyakake produk kualitas kanthi rega sing kompetitif, kita ngarepake dadi mitra jangka panjang ing China.
Waca liyaneKirim PitakonanSemicorex TaC Coating Planetary Plate minangka komponen kinerja dhuwur sing dirancang khusus kanggo sistem MOCVD. Semicorex setya nyedhiyakake produk kualitas kanthi rega sing kompetitif, kita ngarepake dadi mitra jangka panjang ing China.
Waca liyaneKirim PitakonanSemicorex TaC Coating Upper Halfmoon minangka komponen khusus sing dirancang kanggo proses epitaxial kanthi kinerja dhuwur ing manufaktur semikonduktor. Semicorex setya nyedhiyakake produk kualitas kanthi rega sing kompetitif, kita ngarepake dadi mitra jangka panjang ing China.
Waca liyaneKirim PitakonanSemicorex Tantalum Carbide Coating Halfmoon Part minangka komponen khusus sing dirancang kanggo digunakake ing proses deposisi epitaxial. Semicorex setya nyedhiyakake produk kualitas kanthi rega sing kompetitif, kita ngarepake dadi mitra jangka panjang ing China.
Waca liyaneKirim Pitakonan