TaC Coating Guide Ring

Fungsi sakaTaC Coating Guide Ring:

Kontrol Aliran Gas sing Presisi:Ring Pandhuan Coating TaC dipanggonke kanthi strategis ing sistem injeksi gas reaktor MOCVD. fungsi utami kanggo ngarahake aliran gas prekursor lan njamin distribusi seragam ing lumahing wafer substrat. Kontrol sing tepat babagan dinamika aliran gas iki penting kanggo nggayuh pertumbuhan lapisan epitaxial sing seragam lan sifat materi sing dikarepake.

Manajemen termal:Cincin Panuntun Coating TaC asring beroperasi ing suhu sing luwih dhuwur amarga jarake karo susceptor lan substrat sing digawe panas. Konduktivitas termal TaC sing apik banget mbantu ngilangi panas kanthi efektif, nyegah overheating lokal lan njaga profil suhu sing stabil ing zona reaksi.

Keuntungan saka TaC ing MOCVD:

Tahan Suhu Ekstrem:TaC nduwe salah siji titik leleh paling dhuwur ing antarane kabeh bahan, ngluwihi 3800°C. 

Inertness kimia sing pinunjul:TaC nuduhake resistensi luar biasa kanggo korosi lan serangan kimia saka gas prekursor reaktif sing digunakake ing MOCVD, kayata amonia, silane, lan macem-macem senyawa logam-organik.

Perbandingan Ketahanan Korosi TaC lan SiC

Ekspansi Termal Kurang:Koefisien ekspansi termal TaC sing sithik nyuda owah-owahan dimensi amarga fluktuasi suhu sajrone proses MOCVD. 

Tahan Wear dhuwur:Kekerasan lan daya tahan TaC nyedhiyakake resistensi sing apik kanggo nyandhang lan rusak saka aliran gas sing terus-terusan lan partikel potensial ing sistem MOCVD. 

Keuntungan kanggo Kinerja MOCVD:

Panggunaan Semicorex TaC Coating Guide Ring ing peralatan MOCVD nyumbang sacara signifikan kanggo:

Ngapikake Keseragaman Lapisan Epitaxial:Kontrol aliran gas sing tepat sing difasilitasi dening TaC Coating Guide Ring njamin distribusi prekursor seragam, nyebabake pertumbuhan lapisan epitaxial sing seragam kanthi ketebalan lan komposisi sing konsisten.

Stabilitas Proses Ningkatake:Stabilitas termal lan inertness kimia saka TaC nyumbang kanggo lingkungan reaksi luwih stabil lan kontrol ing kamar MOCVD, minimalake variasi proses lan nambah reproducibility.

Tambah Uptime Peralatan:Kekiatan lan umur dawa saka TaC Coating Guide Ring nyuda perlu kanggo ngganti asring, minimalake downtime pangopènan lan ngoptimalake efficiency operasional saka sistem MOCVD.