Solid Silicon Carbide Fokus Ring

Semicorex Solid Silicon Carbide Focusing Ring minangka komponen penting ing manufaktur semikonduktor, kanthi posisi strategis ing njaba wafer kanggo njaga kontak langsung. Kanthi nggunakake voltase sing ditrapake, dering iki fokus ing plasma sing ngliwati, saéngga nambah keseragaman proses ing wafer. Dibangun mung saka Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide (CVD SiC), cincin fokus iki ngemot kuwalitas luar biasa sing dituntut dening industri semikonduktor. Kita ing Semicorex darmabakti kanggo manufaktur lan nyediakake Ring Fokus Solid Silicon Carbide kanthi kinerja dhuwur sing nggabungake kualitas kanthi efisiensi biaya.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Ing fabrikasi semikonduktor, Semicorex Solid Silicon Carbide Focusing Ring nduwe peran penting kanthi tumindak minangka tameng, njaga integritas wafer sajrone proses etsa. Desain sing direkayasa kanthi tliti njamin etsa sing akurat lan seragam, saéngga nggampangake produksi unsur semikonduktor sing rumit banget sing nuduhake kinerja lan linuwih sing unggul.

Silicon carbide minangka bahan pilihan kanggo dering fokus amarga resistensi sing unggul kanggo korosi plasma nalika kapapar plasma ing ruang reaksi vakum. Cincin Fokus Solid Silicon Carbide ngluwihi silikon tradisional ing sawetara aspek, kalebu:

(1) Kapadhetan dhuwur sing nyuda tingkat etsa.

(2) Celah pita unggul lan sifat insulasi sing apik.

(3) Konduktivitas termal sing luar biasa, koefisien ekspansi termal sing kurang, lan tahan kejut termal.

(4) Elastisitas dhuwur ditambah karo resistensi sing apik kanggo dampak mekanik.

(5) atose pinunjul, resistance nyandhang, lan resistance karat.

Konduktivitas silikon karbida lan tahan kanggo etsa ion padha karo silikon, nggawe Cincin Fokus Karbida Silikon Padat minangka bahan sing cocog kanggo aplikasi iki.

Semicorex Solid Silicon Carbide Focusing Ring minangka solusi paling canggih ing bidang manufaktur semikonduktor. Iki nggunakake sifat unik CVD SiC kanggo nggampangake proses etsa sing dipercaya lan berkinerja tinggi, kanthi signifikan nyumbang kanggo kemajuan teknologi semikonduktor.