Pancuran CVD-SiC

Showerhead Semicorex CVD-SiC nyedhiyakake daya tahan, manajemen termal sing apik, lan tahan kanggo degradasi kimia, dadi pilihan sing cocog kanggo nuntut proses CVD ing industri semikonduktor. Semicorex setya nyedhiyakake produk kualitas kanthi rega sing kompetitif, kita ngarepake dadi mitra jangka panjang ing China.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Ing konteks showerhead CVD, showerhead CVD-SiC biasane dirancang kanggo nyebarake gas prekursor kanthi rata ing permukaan substrat sajrone proses CVD. Showerhead biasane dipanggonke ing ndhuwur substrat, lan gas ngisaratke mili liwat bolongan cilik utawa nozzles ing lumahing sawijining.

Bahan CVD-SiC sing digunakake ing showerhead nawakake sawetara kaluwihan. Konduktivitas termal sing dhuwur mbantu ngilangi panas sing diasilake sajrone proses CVD, njamin distribusi suhu seragam ing substrate. Kajaba iku, stabilitas kimia SiC ngidini kanggo nahan gas korosif lan lingkungan kasar sing umum ditemoni ing proses CVD.

Desain showerhead CVD-SiC bisa beda-beda gumantung saka sistem CVD tartamtu lan syarat proses. Nanging, biasane kasusun saka piring utawa komponèn disc-shaped karo Uploaded bolongan presisi-dibor utawa slot. Pola bolongan lan geometri dirancang kanthi teliti kanggo njamin distribusi gas lan tingkat aliran seragam ing permukaan substrat.