Elektroda silikon kristal tunggal Semicorex dadi elektroda lan jalur gas etsa sajrone proses etsa wafer. Elektroda silikon kristal tunggal Semicorex minangka komponen silikon sing ora bisa dipisahake sing dirancang khusus kanggo manufaktur etch semikonduktor dhuwur, sing bisa mbantu nambah presisi lan keseragaman etsa.
Elektroda silikon kristal tunggalbiasane dipasang ing ndhuwur kamar etching, serves minangka elektroda ndhuwur. Lumahing elektroda silikon kristal tunggal nduweni fitur microhole sing disebarake kanthi seragam, sing bisa ngirim gas etsa kanthi merata menyang kamar reaksi. Sajrone proses etching, padha bisa karo elektroda ngisor kanggo generate lapangan listrik seragam, kang nyumbang kanggo nyediakake kondisi operasi becik kanggo etching tliti.
Semicorex milih silikon monokristalin premium MCZ kanggo ngasilake elektroda silikon kristal tunggal, nyedhiyakake kinerja lan kualitas produk sing unggul ing industri.
Elektroda silikon kristal tunggal Semicorex nduweni kemurnian ultra-dhuwur luwih saka 99.9999999%, sing tegese isi impurities logam internal sithik banget.
Beda karo silikon kristal tunggal CZ konvensional, silikon monocrystalline sing ditanam MCZ sing digunakake dening Semicorex entuk keseragaman resistivitas ing ngisor 5%. Sawijining kurang res. kontrol ngisor 0,02 Ω · cm, res tengah. iku antarane 0,2 lan 25Ω·cm, lan dhuwur res. iku antarane 70-90 Ω · cm (kustomisasi kasedhiya ing panyuwunan).
Silikon kristal tunggal sing ditanam liwat metode MCZ nawakake struktur sing luwih stabil lan luwih sithik cacat, nggawe elektroda silikon kristal tunggal Semicorex ngasilake resistensi korosi plasma sing luar biasa lan tahan kahanan operasi etching sing atos.
Semicorexsilikon kristal tunggalelektroda diprodhuksi liwat proses produksi lengkap saka ingot silikon kanggo produk rampung, kalebu slicing, mecah lumahing, ngebur bolongan, etching udan, lan polishing lumahing. Semicorex ndhukung kontrol presisi sing ketat ing saben langkah kanggo mesthekake diameter, kekandelan, planaritas permukaan, jarak bolongan, lan aperture elektroda dijaga ing toleransi sing cocog.
Bolongan mikro ing elektroda silikon kristal tunggal nduweni jarak seragam lan diameter sing konsisten (saka 0,2 nganti 0,8 mm), kanthi tembok jero sing mulus lan tanpa burr. Iki kanthi efektif njamin pasokan gas etsa seragam lan stabil, saéngga njamin keseragaman lan presisi etsa wafer.
Akurasi pangolahan elektroda silikon kristal tunggal Semicorex dikontrol ing 0.3 mm, lan presisi polishing bisa dikontrol kanthi ketat ing ngisor 0.1 µm, lan penggilingan sing apik kurang saka 1.6 µm.