Injector silikon

Injector Silicon Silicon minangka komponen kesucian ultra-dhuwur sing dirancang kanggo kiriman gas sing tepat ing pemendhet uap kimia sing kurang tekanan (LPCVD) sistem murah (LPCVD) kanggo simpenan polysilicon. Didhekake saka 9n (99.9999999%)Silikon murni, injector tubular sing apik iki nyedhiyakake kabersihan, kompatibilitas karo bahan kimia, lan stabilitas termal ing kahanan proses ekstrem.

Struktur tubular darmabect ing injector silikon ngidini kanggo distribusi gas sing dikontrol lan padha karo beban wafer seragam. Orfissi sing direkayasa mikro lan permukaan batin sing lancar njamin tarif aliran sing bisa diterbitake lan dinamis gas laminar sing kritis kanggo ketebalan film sing konsisten lan tarif pemugaran stabil ing tungku. Apa silane (SII₄), dichlororilane (Sihęcl₂), utawa gas reaktif liyane, injektor nawakake kinerja lan precision sing dibutuhake kanggo pertumbuhan film polosilicon kanthi kualitas.

Injector diprodhuksi saka silikon monocrystalline utawa polifrystalline gumantung saka syarat proses, lan materi kasebut dirancang dadi impurities, partikel, lan ionic. Iki nyedhiyakake kompatibilitas karo kahanan lpcvd sing resik, sanajan ana kontaminasi trace bisa nyebabake cacat ing film utawa gagal piranti. Panggunaan silikon minangka bahan dhasar uga nyuda misok materi ing antarane komponen ruangan lan silikon saka kamar, sing luwih murah risiko generasi utawa reaksi kimia sajrone operasi suhu dhuwur.

Struktur tubular darmabect ing injector silikon ngidini kanggo distribusi gas sing dikontrol lan padha karo beban wafer seragam. Orfissi sing direkayasa mikro lan permukaan batin sing lancar njamin tarif aliran sing bisa diterbitake lan dinamis gas laminar sing kritis kanggo ketebalan film sing konsisten lan tarif pemugaran stabil ing tungku. Apa silane (SII₄), dichlororilane (Sihęcl₂), utawa gas reaktif liyane, injektor nawakake kinerja lan precision sing dibutuhake kanggo pertumbuhan film polosilicon kanthi kualitas.

Amarga stabilitas termal sing apik banget, injector silikon semikor bisa nahan suhu nganti 1250 ° C lan bisa dikendhaleni tanpa wedi amarga pirang-pirang siklus suhu lpcvd ing suhu dhuwur. Kajaba iku, minangka resistensi sing dhuwur kanggo oksidasi lan inertness kimia nyedhiyakake dawa nalika ngopsi, nyuda, utawa suasana pangopènan nalika nyuda proses lan nggawe stabilitas proses.

Saben injector digawe kanthi nggunakake mesin CNC negara-saka-saka-saka-saka-saka-saka-saka-saka-saka-saka-saka-saka-miklat, entuk toleransi sub-mikron lan rintangan sing lancar menyang permukaan. Rampung berkualitas tinggi minimalake kerusuhan gas, nggawe sawetara banget kanggo ora partikel nalika njamin ciri-ciri aliran sing konsisten ing owah-owahan termal lan tekanan sing ora konsisten. Manufaktur presisi njamin proses sing dikontrol kanthi rapet, ngasilake asil sing bisa dipercaya, lan mula kinerja peralatan sing konsisten.

Semikorex ngasilake injectors Bespoke Silicon, kasedhiya ing dawane, diameter, lan konfigurasi muncung. Solusi sing cocog bisa dikembangake kanggo ningkatake pola penyebaran gas kanggo reaktor reaktor utawa resep resep resep. Saben injector nekseni lan diverifikasi kanggo kemurnian kanggo ngirim kelas semikonduktor paling dhuwurkomponen silikon.

Injector Silicon Silicon nyedhiyakake tliti lan kesucian sing dibutuhake ing pabrik semikonduktor saiki. Gabungan 9n Silicon murni sing paling dhuwur, akurasi mesin Micron, lan stabilitas sing dhuwur lan kimia nyedhiyakake distribusi gas seragam, lan letsa sing luwih luar biasa nalika nyepaki polyilicon lpcvd.