Silicon Wafer Carrier

Semicorex nyedhiyakake keramik kelas semikonduktor kanggo piranti semi fabrikasi OEM lan komponen penanganan wafer sing fokus ing lapisan silikon karbida ing industri semikonduktor. Kita wis dadi produsen lan supplier Silicon Wafer Carrier sajrone pirang-pirang taun. Carrier Silicon Wafer kita duwe kauntungan rega sing apik lan nutupi sebagian besar pasar Eropa lan Amerika. We look nerusake kanggo dadi partner long-term ing China.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Proses deposisi semikonduktor nggunakake kombinasi gas prekursor molah malih, plasma, lan suhu dhuwur kanggo lapisan film tipis kualitas dhuwur menyang wafer. Kamar deposisi lan alat penanganan wafer mbutuhake komponen keramik sing tahan lama kanggo ngadhepi lingkungan sing tantangan kasebut.
Semicorex Silicon Wafer Carrier minangka karbida silikon kemurnian dhuwur, sing nduweni sifat korosi lan tahan panas uga konduktivitas termal sing apik.

Parameter saka Silicon Wafer Carrier

Properti Teknis
Indeks	Unit	Nilai
Jeneng Material		Reaksi Sintered Silicon Carbide	Sintered Silicon Carbide Tanpa Tekanan	Recrystallized Silicon Carbide
Komposisi		RBSiC	SSiC	R-SiC
Kapadhetan Bulk	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Kekuatan lentur	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Kekuwatan Kompresi	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kekerasan	Tombol	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Konduktivitas termal	W/m.k	95	120	23
Koefisien Ekspansi Termal	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Panas spesifik	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Suhu maksimal ing udhara	℃	1200	1500	1600
Modulus elastik	Gpa	360	410	240

Bentenipun antarane SSiC lan RBSiC:

1. Proses sintering beda. RBSiC kanggo infiltrate Si free menyang silikon karbida ing suhu kurang, SSiC kawangun dening shrinkage alam ing 2100 derajat.

2. SSiC duwe permukaan sing luwih alus, kapadhetan sing luwih dhuwur lan kekuatan sing luwih dhuwur, kanggo sawetara sealing kanthi syarat permukaan sing luwih ketat, SSiC bakal luwih apik.

3. Wektu digunakake beda ing PH lan suhu beda, SSiC luwih saka RBSiC

Fitur saka Silicon Wafer Carrier

Kemurnian dhuwur SiC dilapisi grafit
Tahan panas sing unggul & keseragaman termal
Dilapisi kristal SiC sing apik kanggo permukaan sing mulus
Daya tahan dhuwur marang reresik kimia
Bahan dirancang supaya retak lan delaminasi ora kedadeyan.

Keramik silikon karbida kasedhiya:

● rod Keramik / pin Keramik / plunger Keramik

● Tabung Keramik / bushing keramik / lengan keramik

● ring Keramik / mesin cuci keramik / spacer keramik

● Disk Keramik

● piring Keramik / blok Keramik

● werni Keramik

● piston Keramik

● nozzle Keramik

● Crucible Keramik

● bagean Keramik adat liyane