Semicorex nyedhiyakake keramik kelas semikonduktor kanggo piranti semi fabrikasi OEM lan komponen penanganan wafer sing fokus ing lapisan silikon karbida ing industri semikonduktor. Kita wis dadi produsen lan supplier Silicon Wafer Carrier sajrone pirang-pirang taun. Carrier Silicon Wafer kita duwe kauntungan rega sing apik lan nutupi sebagian besar pasar Eropa lan Amerika. We look nerusake kanggo dadi partner long-term ing China.
Proses deposisi semikonduktor nggunakake kombinasi gas prekursor molah malih, plasma, lan suhu dhuwur kanggo lapisan film tipis kualitas dhuwur menyang wafer. Kamar Deposition lan alat nangani wafer mbutuhake komponen keramik awet kanggo ngadeg ing lingkungan tantangan iki.
Semicorex Silicon Wafer Carrier minangka karbida silikon kemurnian dhuwur, sing nduweni sifat korosi lan tahan panas uga konduktivitas termal sing apik.
Parameter saka Silicon Wafer Carrier
Properti Teknis |
||||
Indeks |
Unit |
Nilai |
||
Jeneng Material |
Reaksi Sintered Silicon Carbide |
Sintered Silicon Carbide Tanpa Tekanan |
Silicon Carbide Recrystallized |
|
Komposisi |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Akeh Kapadhetan |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2.60-2.70 |
Kekuatan lentur |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
Kekuwatan Kompresi |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Kekerasan |
Knoop |
2700 |
2800 |
/ |
Breaking Tenacity |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Konduktivitas termal |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Koefisien Ekspansi Termal |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Panas spesifik |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Suhu maksimal ing udhara |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Modulus elastik |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Bentenipun antarane SSiC lan RBSiC:
1. Proses sintering beda. RBSiC kanggo infiltrate Si free menyang silikon karbida ing suhu kurang, SSiC kawangun dening shrinkage alam ing 2100 derajat.
2. SSiC duwe permukaan sing luwih alus, kapadhetan sing luwih dhuwur lan kekuatan sing luwih dhuwur, kanggo sawetara sealing kanthi syarat permukaan sing luwih ketat, SSiC bakal luwih apik.
3. Wektu digunakake beda ing PH lan suhu beda, SSiC luwih saka RBSiC
Fitur saka Silicon Wafer Carrier
Kemurnian dhuwur SiC dilapisi grafit
Tahan panas sing unggul & keseragaman termal
Dilapisi kristal SiC sing apik kanggo permukaan sing mulus
Daya tahan dhuwur marang reresik kimia
Bahan dirancang supaya retak lan delaminasi ora kedadeyan.
Kasedhiya wangun silikon karbida keramikï¼
â Batang Keramik / Pin Keramik / Plunger Keramik
â Tabung keramik / bushing keramik / lengan keramik
â Keramik ring / mesin cuci keramik / spacer keramik
â Cakram Keramik
â Piring keramik / blok keramik
â Bola Keramik
â Piston Keramik
â Nozzle Keramik
â Wadah Keramik
â Bagéan keramik khusus liyane