Cincin Etching Silikon

Cincin etsa silikon minangka komponen penting ing ruang etch plasma peralatan etch CCP / ICP lan biasane diselehake ing wafer semikonduktor. Fungsi utamane yaiku ndhukung wafer semikonduktor, njaga distribusi plasma seragam, nglindhungi pinggiran wafer, lan kanthi mangkono mbantu nggawe kahanan operasi sing optimal kanggo proses etsa plasma.

Kaluwihan saka cincin etsa silikon Semicorex

1. Pilihan bahan premium

Cincin etsa silikon Semicorex digawe saka MCZ kemurnian dhuwur sing dipilih kanthi telitisilikon monokristalin, sing nawakake sifat apik ing ngisor iki liwat silikon monocrystalline CZ konvensional.

Kemurnian dhuwur: Kemurnian luwih saka 99.9999999%, tegese cincin etsa silikon Semicorex meh ora ana impurities. Iki kemurnian Ultra-dhuwur bisa èfèktif ngindhari gangguan saka impurities komponen sak proses etching, mangkono njamin tliti etching dhuwur.

Struktur stabil: Silikon monocrystalline MCZ nduweni struktur kristal sing unggul kanthi cacat sing luwih murah tinimbang silikon monokristalin CZ konvensional. Struktur kristal sing stabil iki menehi cincin etsa silikon Semicorex nambah resistensi karat kanggo karat plasma lan bisa tahan kahanan operasi etsa sing atos.

Keseragaman resistivitas sing apik:Cincin etsa silikon semicorexngirim keseragaman resistance ngédap karo RRG <5%. Kurang Res. (<0,02 Ω·cm), Res. (0.2–25 Ω·cm), Dhuwur Res. (> 100 Ω·cm). Keseragaman resistivitas sing apik iki bisa nyuda distribusi plasma sing ora rata sing disebabake dening resistivitas sing dhuwur banget utawa kurang, sing nyumbang kanggo medan listrik sing cocog kanggo etsa plasma kanthi tliti dhuwur.

2. Processing precision lan pengawasan kualitas ketat

Semicorex nduwe tim teknis sing berpengalaman sing bisa menehi kustomisasi lan evaluasi teknis khusus kanggo para pelanggan sing dihargai lan uga wis nggawe prosedur pamrosesan lan pamriksa sing sistematis kanggo njamin kualitas produk.

Layanan kustomisasi fleksibel: Semicorex ndhukung kustomisasi adhedhasar gambar pelanggan, lan diameter maksimum cincin etsa silikon bisa nganti 470mm.

Perawatan permukaan standar dhuwur: Presisi polishing bisa dikontrol kanthi ketat ing Ra <0.1 µm, lan penggilingan sing apik entuk Rampung permukaan Ra> 0.1 µm.

Pemriksaan kualitas sing ketat: Pangukuran dimensi, tes resistivity, lan inspeksi visual bakal ditindakake kanggo mesthekake dering etsa silikon bebas saka kripik, goresan, retak, noda lan cacat liyane.