Plate Etch Silikon Semicorex kanggo Aplikasi Etsa PSS minangka operator grafit ultra-murni sing berkualitas tinggi sing dirancang khusus kanggo pertumbuhan epitaxial lan proses penanganan wafer. Operator kita bisa tahan lingkungan sing atos, suhu dhuwur, lan reresik kimia sing atos. Piring etch silikon kanggo aplikasi etsa PSS nduweni sifat distribusi panas sing apik, konduktivitas termal sing dhuwur, lan biaya-efektif. Produk kita akeh digunakake ing akeh pasar Eropa lan Amerika, lan kita ngarep-arep dadi mitra jangka panjang ing China.
Plat Etch Silicon Semicorex kanggo Aplikasi Etching PSS dirancang kanggo aplikasi peralatan epitaksi sing paling nuntut. Pembawa grafit ultra-murni kita bisa tahan lingkungan sing atos, suhu dhuwur, lan reresik kimia sing atos. Operator sing dilapisi SiC nduweni sifat distribusi panas sing apik, konduktivitas termal sing dhuwur, lan biaya-efektif.
Parameter Plate Etch Silicon kanggo Aplikasi Etching PSS
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur Kristal |
Fase FCC β |
|
Kapadhetan |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran gandum |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas panas |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuwatan Felexural |
MPa (RT 4-titik) |
415 |
Modulus Young |
Gpa (4pt bend, 1300â) |
430 |
Ekspansi Termal (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur Plate Etch Silicon kanggo Aplikasi Etching PSS
- Aja peeling lan mesthekake lapisan ing kabeh permukaan
Tahan oksidasi suhu dhuwur: Stabil ing suhu dhuwur nganti 1600 ° C
Kemurnian dhuwur: digawe dening deposisi uap kimia CVD ing kondisi klorinasi suhu dhuwur.
Ketahanan korosi: kekerasan dhuwur, permukaan sing padhet lan partikel sing apik.
Tahan korosi: asam, alkali, uyah lan reagen organik.
- Entuk pola aliran gas laminar sing paling apik
- Njamin evenness saka profil termal
- Nyegah sembarang kontaminasi utawa difusi impurities