Pembawa Penanganan PSS Semicorex kanggo Transfer Wafer dirancang kanggo aplikasi peralatan epitaksi sing paling nuntut. Pembawa grafit ultra-murni kita bisa tahan lingkungan sing atos, suhu dhuwur, lan reresik kimia sing atos. Operator sing dilapisi SiC nduweni sifat distribusi panas sing apik, konduktivitas termal sing dhuwur, lan biaya-efektif. Produk kita akeh digunakake ing akeh pasar Eropa lan Amerika, lan kita ngarep-arep dadi mitra jangka panjang ing China.
Pembawa Penanganan PSS kanggo Transfer Wafer saka Semicorex dirancang kanggo nyukupi syarat reresik kimia suhu dhuwur lan kasar kanggo proses pangolahan epitaxial lan penanganan wafer. Pembawa grafit ultra-murni kita cocog kanggo fase deposisi film tipis kaya MOCVD, susceptor epitaksi, platform pancake utawa satelit, lan pangolahan penanganan wafer kayata etsa. Operator sing dilapisi SiC nduweni sifat distribusi panas sing apik, konduktivitas termal sing dhuwur, lan biaya-efektif.
Hubungi kita dina iki kanggo sinau luwih lengkap babagan Pembawa Penanganan PSS kanggo Transfer Wafer.
Parameter Pembawa Penanganan PSS kanggo Transfer Wafer
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur Kristal |
Fase β FCC |
|
Kapadhetan |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran gandum |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuwatan Felexural |
MPa (RT 4-titik) |
415 |
Modulus Muda |
Gpa (4pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Ekspansi Termal (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur Pembawa Penanganan PSS kanggo Transfer Wafer
- Aja peeling lan mesthekake lapisan ing kabeh permukaan
Tahan oksidasi suhu dhuwur: Stabil ing suhu dhuwur nganti 1600 ° C
Kemurnian dhuwur: digawe dening deposisi uap kimia CVD ing kondisi klorinasi suhu dhuwur.
Resistance korosi: atose dhuwur, lumahing padhet lan partikel alus.
Tahan korosi: asam, alkali, uyah lan reagen organik.
- Entuk pola aliran gas laminar sing paling apik
- Njamin evenness saka profil termal
- Nyegah sembarang kontaminasi utawa difusi impurities