Silikon Elektroda Melengkung

Sajrone peralatan etch majeng, elektroda silikon sudhut mlengkung biasane dipasang ing ndhuwur kamar etching, madhep menyang wafer semikonduktor. Elektroda silikon mlengkung biasane makaryakke magepokan karo chuck elektrostatik, ring fokus Si, ring pinggiran Si, ring exhaust Si, lan ring shielding Si kanggo nyedhiyani kondisi operasi optimal kanggo etching tliti dhuwur.

Fungsi elektroda lengkung silikon Semicorex

1. Kompatibel karo struktur 3D Komplek etching

Kanthi kemampuan kontrol medan listrik 3D sing luar biasa, Semicorexelektroda silikon mlengkungbisa cocog karo karakteristik geometris struktur kompleks. Desain mlengkung khusus mbisakake kontrol plasma tepat lan distribusi energi optimized, kang Ngartekno mengaruhi rasio aspek lan sidewall vertikalitas struktur 3D etching lan kebak meets syarat baris produksi pangolahan packaging majeng lan integrasi IC 3D.

2. Kontrol sing tepat saka Distribusi Gas Etch

Elektroda lengkung silikon Semicorex nampilake pirang-pirang bolongan mikro sing disebar kanthi seragam ing permukaane kanggo gas etch mlebu ing kamar etsa. Elektroda lengkung silikon Semicorex bisa entuk kontrol sing tepat ing gas etch lan ngidini disebarake kanthi seragam ing kamar etsa, saengga bisa nyuda variasi proses sing disebabake dening distribusi gas sing ora seragam.

Kaluwihan saka elektroda lengkung silikon Semicorex

1. Ultra-dhuwur kemurnian

Elektroda lengkung silikon Semicorex digawe saka kristal tunggal kanthi kemurnian ultra-dhuwursilikonkanthi tingkat kemurnian ing ndhuwur 99.9999999%, menehi resistance unggul kanggo erosi plasma. Pilihan materi standar dhuwur iki bisa èfèktif ngindhari kontaminasi sing ora dikarepake asil saka etching dening-produk nalika uga Ngartekno ndawakake umur layanan saka silikon sudhut mlengkung elektroda.

2. Sifat listrik sing apik banget

Diprodhuksi saka silikon kristal tunggal sing ditanam MCZ, elektroda lengkung silikon Semicorex nampilake keseragaman resistivitas sing luar biasa: ＜5%, lan sawetara resistivitas sing bisa dipilih sing amba: res rendah. (<0,02), res tengah. (1-4), lan resolusi dhuwur. (70–90).

3. Precision Processing akurasi

Liwat pangolahan mekanik kanthi tliti dhuwur, elektroda lengkung silikon Semicorex entuk ukuran pori sing konsisten lan distribusi bolongan seragam. Permukaan kasebut dipoles lan digiling kanthi alus: dipoles (Ra <0,1 μm) lan lemah (Ra <1,6 μm), kanthi presisi mesin sakabehe dikontrol ing 0,03 mm.