Silikon karbida vakum chuck

Sacara Semikoreks Vacuum Carbide Carbide Silikon minangka bagean penting kanggo pabrik semikonduktor kanggo proses mbutuhake tliti sing dhuwur lan kontaminasi sithik. Cahya vakum digawe saka keramik karbida karbida sing dhuwur lan menehi kekuwatan mekanik, konduktivitas termal, lan struktur kimia sing bisa dikendhaleni kanggo penylametan vakum sing bisa dikontrol. The Silicon carbide vacuum chuck is a functional adsorption device made from a silicon carbide (SiC) ceramic material, that relies on vacuum negative pressure, electrostatic adsorption or mechanical clamping to provide stable grasp of the workpiece. Chukus vakum wis digunakake ing semikonduktor, fotovoltasi, manufaktur sing tepat lan aplikasi liyane sing menehi panjaluk resistensi suhu dhuwur, nyandhang resistensi lan resistensi.

DhasarChuckApa bahan sik keropos, sing duwe perbandingan hawa sing bisa diramalake ing permukaan kasebut. Iki tegese bisa kanthi aman adsorb wafer tanpa clamping mechanis lan mulane ora bisa dadi karusakan fisik utawa kontaminasi conto. Porosity materi kasebut dikontrol kanthi kenceng - biasane duwe keruwetan 35-40% - kanggo nyedhiyakake distribusi vakum sing tepat nanging uga cocog karo syarat struktural kanggo muter termal termal lan mekanik.

Gerbang vakum waferBiasane digawe saka permukaan sing atos kanthi pirang-pirang bolongan utawa saluran cilik ing permukaan. Liwat bolongan cilik kasebut, Chuck bisa nyambung menyang pompa vakum, sing nggawe efek vakum. Nalika wafer dilebokake ing Chuck, pompa vakum diuripake lan udhara ditarik liwat bolongan cilik, nggawe vakum ing antarane wafer lan chuck. Efek vakum iki nggawe sedap sing cukup kanggo masang wafer menyang permukaan Chuck.

Lumahing keramik asring digunakake ing aplikasi sing mbutuhake kesucian lan stabilitas kimia. Keramik bahan sing diasilake kanthi campuran mineral mineral sing dhuwur. Umumé, keramik minangka insulator listrik utawa semikonduktor lan resistensi dhuwur kanggo risak termal, erosi lan karusakan.

Semikoreks mbangun vakum silikon karbida carbide cabihan kanggo spesifikasi pelanggan kanggo barang kaya dimensi, porofasi, rampung lumahing lan pola kanggo saluran vakum. Minangka asil pabrik lan resik sing paling apik ing panyebaran partikel lan kabersihan partikel sing paling apik kanggo nyukupi syarat kabersihan kabeh Fabs Semikonductor lan Produsen Peralatan.

Kita bisa nggawe Chuck kanggo wafer ukuran apa wae, saka wafer 40 inci lan adaptasi kanggo nggabungake chuck menyang plethora saka peralatan penerbangan wafer. Iki bisa digunakake kanggo proses ngarep lan / utawa proses mburi, nggawe cara vakum sic sing tepat, stabil, stabil, stabil, stabil dhukungan wafer ing alur kerja semikonduktor.

Vacuum Vacuum Carbide Carbide minangka alat penting ing pabrik semikonduktor saiki, nggabungake bahan lan rekayasa sing paling apik. Keetaan sing tahan tahan tahan tahan tahan tahan tahan tahan tahan tahan tahan lama liwat ekstrem termal lan kimia nggawe dhukungan sing sampurna ing aplikasi proses sing kalebu, lebang, tipis lan rta. Kanthi nyopot silikon vakum vakum silikon liwat semikoreks sampeyan njamin kemurnian materi paling apik, solusi khusus lan kinerja sing dipercaya kanggo asil pangolahan wafer.