Cincin Fokus Silicon Carbide

Cincin fokus silikon karbidasing umum diinstal ing kamar reaksi saka peralatan etching, diselehake watara lumahing support wafer saka Chuck elektrostatik. Pangaturan instalasi iki bisa kasil ngisi prabédan dhuwur antarane pinggiran wafer lan elektroda, fokus plasma ing kamar reaksi menyang lumahing wafer kanggo entuk etching seragam lan uga nyegah panyebaran plasma metu saka pinggiran wafer kanggo ngindhari masalah over-etching pinggiran wafer.

Komponen etsa sing berkualitas bisa nyedhiyakake lingkungan lapangan listrik sing stabil kanggo proses etsa. Cincin fokus silikon karbida Semicorex digawe saka kinerja dhuwurbahan silikon karbidaliwat deposisi uap kimia. Dering fokus kita bisa nyetel distribusi medan listrik ing sekitar wafer, kanthi signifikan nyuda penyimpangan etsa utawa fenomena discharge sing disebabake dening medan listrik sing ora rata.

Wafer semikonduktor gampang rentan kanggo kontaminasi partikel, mula proses etsa plasma kudu ditindakake ing ruang reaksi etsa ion ultra-resik. Minangka komponen utami saka peralatan etsa, rings fokus silikon karbida teka menyang kontak langsung karo pinggiran wafer ing operasi nyata, uga dibutuhake kanggo ketemu standar kebersihan Ultra-dhuwur. Cincin fokus silikon karbida Semicorex nawakake kaluwihan saka kemurnian dhuwur lan isi impurity sing kurang, sing bisa nyukupi syarat kebersihan sing ketat kanggo proses etsa semikonduktor. Iki nyumbang banget kanggo nyuda cacat wafer lan nambah asil produksi wafer.

Sajrone proses etsa plasma, gas etsa kayata fluorine lan oksigen dilebokake ing kamar reaksi. Ketahanan karat kimia peralatan etsa banget ditantang dening korosi jangka panjang sing disebabake dening gas proses. Kanthi sifat tahan sing unggul kanggo korosi plasma, karbida silikon minangka pilihan materi sing paling optimal kanggo manufaktur cincin fokus. Kanthi nyuda kemungkinan karusakan komponen sing gegandhengan karo karat lan nyuda kabutuhan panggantos lan pangopènan sing kerep, dering fokus karbida silikon bisa nambah efisiensi manufaktur wafer semikonduktor.