Lapisan SiC minangka lapisan tipis ing susceptor liwat proses deposisi uap kimia (CVD). Bahan silikon karbida nyedhiyakake sawetara kaluwihan tinimbang silikon, kalebu 10x kekuatan medan listrik sing rusak, 3x jurang band, sing nyedhiyakake materi kanthi suhu dhuwur lan tahan kimia, tahan nyandhang sing apik uga konduktivitas termal.
Semicorex nyedhiyakake layanan khusus, mbantu sampeyan nggawe inovasi karo komponen sing tahan suwe, nyuda wektu siklus, lan nambah asil.
Lapisan SiC duwe sawetara kaluwihan unik
Resistance Suhu Dhuwur: susceptor dilapisi CVD SiC bisa tahan suhu dhuwur nganti 1600 ° C tanpa ngalami degradasi termal sing signifikan.
Ketahanan Kimia: Lapisan karbida silikon menehi resistensi banget kanggo macem-macem bahan kimia, kalebu asam, alkali, lan pelarut organik.
Ketahanan Wear: Lapisan SiC nyedhiyakake materi kanthi resistensi nyandhang sing apik banget, saengga cocog kanggo aplikasi sing nyandhang nyandhang lan rusak.
Konduktivitas Termal: Lapisan CVD SiC nyedhiyakake materi kanthi konduktivitas termal sing dhuwur, saengga bisa digunakake ing aplikasi suhu dhuwur sing mbutuhake transfer panas sing efisien.
Kekuwatan lan Kaku Dhuwur: Susceptor dilapisi silikon karbida nyedhiyakake materi kanthi kekuatan lan kaku sing dhuwur, saengga cocok kanggo aplikasi sing mbutuhake kekuatan mekanik sing dhuwur.
Lapisan SiC digunakake ing macem-macem aplikasi
Manufaktur LED: Susceptor dilapisi CVD SiC digunakake ing manufaktur sing diproses saka macem-macem jinis LED, kalebu LED biru lan ijo, LED UV lan LED UV jero, amarga konduktivitas termal sing dhuwur lan tahan kimia.
Komunikasi seluler: susceptor dilapisi CVD SiC minangka bagean penting saka HEMT kanggo ngrampungake proses epitaxial GaN-on-SiC.
Pengolahan Semikonduktor: Susceptor dilapisi CVD SiC digunakake ing industri semikonduktor kanggo macem-macem aplikasi, kalebu pangolahan wafer lan pertumbuhan epitaxial.
Komponen grafit sing dilapisi SiC
Digawe dening Silicon Carbide Coating (SiC) grafit, lapisan iki Applied dening cara CVD kanggo gelar tartamtu saka dhuwur Kapadhetan grafit, supaya bisa operate ing tungku suhu dhuwur karo liwat 3000 °C ing atmosfer inert, 2200 °C ing vakum .
Sifat khusus lan massa bahan sing kurang ngidini tingkat pemanasan sing cepet, distribusi suhu seragam lan presisi sing luar biasa ing kontrol.
Data materi saka Semicorex SiC Coating
Sifat khas |
Unit |
Nilai |
Struktur |
|
Fase β FCC |
Orientasi |
Fraksi (%) |
111 disenengi |
Kapadhetan akeh |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Kapasitas panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
Ekspansi termal 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modulus Muda |
Gpa (4pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Ukuran gandum |
μm |
2~10 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuwatan Felexural |
MPa (RT 4-titik) |
415 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Kesimpulan susceptor dilapisi CVD SiC minangka bahan komposit sing nggabungake sifat susceptor lan silikon karbida. Materi iki nduweni sifat unik, kalebu tahan suhu lan kimia sing dhuwur, resistensi nyandhang sing apik, konduktivitas termal sing dhuwur, lan kekuatan lan kaku sing dhuwur. Properti kasebut nggawe bahan sing menarik kanggo macem-macem aplikasi suhu dhuwur, kalebu pangolahan semikonduktor, pangolahan kimia, perawatan panas, manufaktur sel surya, lan manufaktur LED.
Ing Semicorex, kita wis ngrancang PSS Etching Carrier Tray kanggo LED khusus kanggo lingkungan kasar sing dibutuhake kanggo proses pangolahan epitaxial lan penanganan wafer. Pembawa grafit ultra-murni kita cocog kanggo fase deposisi film tipis kaya MOCVD, susceptor epitaksi, platform pancake utawa satelit, lan pangolahan penanganan wafer kayata etsa. Operator sing dilapisi SiC nduweni resistensi panas lan karat sing dhuwur, sifat distribusi panas sing apik, lan konduktivitas termal sing dhuwur. Kita PSS Etching Carrier Tray kanggo LED biaya-efektif lan nawakake kauntungan rega apik. Kita ngebaki akeh pasar Eropa lan Amerika lan ngarepake dadi mitra jangka panjang ing China.
Waca liyaneKirim PitakonanSemicorex PSS Etching Carrier Plate kanggo Semikonduktor dirancang khusus kanggo lingkungan reresik kimia suhu dhuwur lan kasar sing dibutuhake kanggo proses pangolahan epitaxial lan penanganan wafer. Plat Carrier Etching PSS Ultra-murni kanggo Semikonduktor dirancang kanggo ndhukung wafer sajrone fase deposisi film tipis kaya MOCVD lan susceptor epitaksi, pancake utawa platform satelit. Operator sing dilapisi SiC duwe resistensi panas lan karat sing dhuwur, sifat distribusi panas sing apik, lan konduktivitas termal sing dhuwur. We nyedhiyani solusi biaya-efektif kanggo kita pelanggan, lan produk kita nutupi akeh pasar Eropah lan Amerika. Semicorex ngarepake dadi mitra jangka panjang sampeyan ing China.
Waca liyaneKirim PitakonanOperator wafer digunakake ing wutah epixial lan pangolahan penanganan wafer kudu tahan suhu dhuwur lan reresik kimia atos. Semicorex SiC Coated PSS Etching Carrier direkayasa khusus kanggo aplikasi peralatan epitaksi sing nuntut iki. Produk kita duwe kauntungan rega sing apik lan nutupi akeh pasar Eropa lan Amerika. We look nerusake kanggo dadi partner long-term ing China.
Waca liyaneKirim PitakonanSemicorex SiC Coated Barrel Susceptor kanggo LPE Epitaxial Growth minangka produk kinerja dhuwur sing dirancang kanggo nyedhiyakake kinerja sing konsisten lan dipercaya sajrone wektu sing suwe. Profil termal sing malah, pola aliran gas laminar, lan nyegah kontaminasi dadi pilihan sing cocog kanggo tuwuh lapisan epitaxial berkualitas tinggi ing chip wafer. Kustomisasi lan efektifitas biaya nggawe produk sing kompetitif ing pasar.
Waca liyaneKirim PitakonanSemicorex Barrel Susceptor Epi System minangka produk bermutu tinggi sing nawakake adhesi lapisan sing unggul, kemurnian dhuwur, lan tahan oksidasi suhu dhuwur. Profil termal, pola aliran gas laminar, lan pencegahan kontaminasi dadi pilihan sing cocog kanggo tuwuh lapisan epixial ing chip wafer. Biaya-efektifitas lan customizability ndadekake produk Highly competitive ing pasar.
Waca liyaneKirim PitakonanSistem Reaktor Semicorex Liquid Phase Epitaxy (LPE) minangka produk inovatif sing nawakake kinerja termal sing apik, malah profil termal, lan adhesi lapisan sing unggul. Kemurnian sing dhuwur, tahan oksidasi suhu dhuwur, lan tahan karat dadi pilihan sing cocog kanggo digunakake ing industri semikonduktor. Opsi sing bisa disesuaikan lan efektifitas biaya nggawe produk sing kompetitif ing pasar.
Waca liyaneKirim Pitakonan