ICP Plasma Etching Tray Semicorex dirancang khusus kanggo proses penanganan wafer suhu dhuwur kayata epitaxy lan MOCVD. Kanthi resistensi oksidasi suhu sing stabil lan dhuwur nganti 1600 ° C, operator kita nyedhiyakake profil termal, pola aliran gas laminar, lan nyegah kontaminasi utawa panyebaran impurities.
Baki etsa plasma ICP kita dilapisi silikon karbida kanthi nggunakake metode CVD, yaiku solusi sing cocog kanggo proses penanganan wafer sing mbutuhake reresik kimia kanthi suhu dhuwur lan kasar. Operator Semicorex nampilake lapisan kristal SiC sing apik sing nyedhiyakake profil termal, pola aliran gas laminar, lan nyegah kontaminasi utawa panyebaran impurities.
Ing Semicorex, kita fokus nyedhiyakake produk sing berkualitas tinggi lan biaya-efektif kanggo para pelanggan. Tray etsa plasma ICP kita duwe kauntungan rega lan diekspor menyang pasar Eropa lan Amerika. Kita ngarahake dadi mitra jangka panjang, ngirim produk kualitas sing konsisten lan layanan pelanggan sing luar biasa.
Hubungi kita dina iki kanggo mangerteni sing luwih lengkap babagan ICP Plasma Etching Tray.
Parameter ICP Plasma Etching Tray
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
SiC-CVD Properties |
||
Struktur Kristal |
Fase β FCC |
|
Kapadhetan |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran gandum |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuwatan Felexural |
MPa (RT 4-titik) |
415 |
Modulus Muda |
Gpa (4pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Ekspansi Termal (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur saka ICP Plasma Etching Tray
- Aja peeling lan mesthekake lapisan ing kabeh permukaan
Tahan oksidasi suhu dhuwur: Stabil ing suhu dhuwur nganti 1600 ° C
Kemurnian dhuwur: digawe dening deposisi uap kimia CVD ing kondisi klorinasi suhu dhuwur.
Resistance korosi: atose dhuwur, lumahing padhet lan partikel alus.
Tahan korosi: asam, alkali, uyah lan reagen organik.
- Entuk pola aliran gas laminar sing paling apik
- Njamin evenness saka profil termal
- Nyegah sembarang kontaminasi utawa difusi impurities