Silicon Carbide Keramik Wafer Boats

Pilihan bahan premium

Sifat-sifat sing apik saka keramik Semicorex silikon karbidakapal waferamarga bahan baku kualitas dhuwur. Digawe saka bahan SiSiC kelas semikonduktor lan ditutupi lapisan CVD SiC, prau wafer keramik Silicon karbida nampilake sifat sing apik banget.

1.Ultra-dhuwur kemurnian, free saka release impurity logam

Pengotor substrat: <100 ppm

Kotoran lapisan CVD SiC: <1 ppm

2. stabilitas termal Superior

Kapal wafer keramik silikon karbida bisa nindakake kanthi ajeg ing kondisi suhu dhuwur 1250 ℃, nyedhiyakake deformasi minimal lan resistance creep.

3. Kekuwatan mekanik sing dhuwur

Silicon karbidanduweni atose dhuwur lan resistance nyandhang, mbisakake Semicorex silikon carbide prau wafer keramik kanggo nolak goresan, abrasions, lan karusakan, saéngga Performing apik sak operasi long-term lan kang tahan kanggo karusakan.

4. resistance karat ngédap

Amarga silikon karbida tahan korosi saka asam lan alkali sing kuwat,  Semicorex silikon karbida keramik wafer prau bisa njaga integritas struktur lan kinerja fungsi sanajan ing kahanan kerja banget korosif.

Desain struktur sing dioptimalake

Kapal wafer keramik silikon karbida Semicorex dirancang kanggo pangolahan wafer batch, kerangka struktural sing dioptimalake njamin dhukungan wafer batch sing stabil lan stabilitas proses sing konsisten kanggo saben wafer.

1.3-posting struktur dhukungan vertikal

Struktur vertikal kapal wafer keramik Semicorex silikon karbida ngidini supaya bisa cocog karo aplikasi tungku vertikal. Kanthi struktur iki,  emicorex silikon karbida wafer prau keramik bisa nggampangake circulation homogen saka gas proses lan distribusi seragam energi termal ing tungku suhu dhuwur.

2.Uniformly mbagekke slot pinches

Semicorex silikon carbide wafer prau keramik dilengkapi karo macem-macem tliti-mesin slot pinches ing kirim support sing. Pinches slot kanthi jarak rata-rata entuk jarak slot sing cocog, sing ngidini kapal wafer keramik karbida silikon ngamanake wafer semikonduktor kanthi aman, saéngga nyumbang kanggo nambah konsistensi asil pangolahan termal wafer.

Kanthi kinerja lan fungsi sing akeh banget, kapal wafer keramik karbida silikon Semicorex digunakake ing proses inti manufaktur wafer semikonduktor, kayata oksidasi, difusi, implantasi ion, lan anil suhu dhuwur.