Silicon Carbide Keramik Wafer Boat

Semicorex nyedhiyakake prau wafer, pedestal, lan operator wafer khusus kanggo konfigurasi vertikal / kolom lan horisontal. Kita wis dadi produsen lan supplier film lapisan silikon karbida sajrone pirang-pirang taun. Prau wafer keramik karbida silikon duwe kauntungan rega sing apik lan nutupi sebagian besar pasar Eropa lan Amerika. We look nerusake kanggo dadi partner long-term ing China.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Semicorex silikon karbida keramik wafer boat, solusi pokok kanggo wafer nangani lan pangayoman ing manufaktur semikonduktor.
Prau wafer keramik silikon karbida kita digawe saka bahan berkualitas tinggi sing dilapisi lapisan silikon karbida (SiC) sing digunakake metode CVD, sing duwe resistensi sing apik kanggo karat lan tahan banget kanggo suhu dhuwur lan kejut termal. Keramik canggih nyedhiyakake ketahanan termal lan daya tahan plasma sing apik nalika nyuda partikel lan rereged kanggo operator wafer berkapasitas dhuwur.

Parameter kapal wafer keramik karbida silikon

Properti Teknis
Indeks	Unit	Nilai
Jeneng Material		Reaksi Sintered Silicon Carbide	Sintered Silicon Carbide Tanpa Tekanan	Recrystallized Silicon Carbide
Komposisi		RBSiC	SSiC	R-SiC
Kapadhetan Bulk	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Kekuatan lentur	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Kekuwatan Kompresi	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kekerasan	Tombol	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Konduktivitas termal	W/m.k	95	120	23
Koefisien Ekspansi Termal	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Panas Spesifik	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Suhu maksimal ing udhara	℃	1200	1500	1600
Modulus elastik	Gpa	360	410	240

Bentenipun antarane SSiC lan RBSiC:

1. Proses sintering beda. RBSiC kanggo infiltrate Si free menyang silikon karbida ing suhu kurang, SSiC kawangun dening shrinkage alam ing 2100 derajat.

2. SSiC duwe permukaan sing luwih alus, kapadhetan sing luwih dhuwur lan kekuatan sing luwih dhuwur, kanggo sawetara sealing kanthi syarat permukaan sing luwih ketat, SSiC bakal luwih apik.

3. Wektu digunakake beda ing PH lan suhu beda, SSiC luwih saka RBSiC

Fitur saka Silicon Carbide Keramik Wafer Boat

Tahan panas sing unggul & keseragaman termal
Dilapisi kristal SiC sing apik kanggo permukaan sing mulus
Daya tahan dhuwur marang reresik kimia
Bahan dirancang supaya retak lan delaminasi ora kedadeyan.