Semicorex nyedhiyakake prau wafer, pedestal, lan operator wafer khusus kanggo konfigurasi vertikal / kolom lan horisontal. Kita wis dadi produsen lan supplier film lapisan silikon karbida sajrone pirang-pirang taun. Prau wafer keramik karbida silikon duwe kauntungan rega sing apik lan nutupi sebagian besar pasar Eropa lan Amerika. We look nerusake kanggo dadi partner long-term ing China.
Prau wafer keramik silikon karbida Semicorex, solusi utama kanggo penanganan wafer lan proteksi ing manufaktur semikonduktor.
Kapal wafer keramik silikon karbida kita digawe saka bahan berkualitas tinggi sing dilapisi lapisan silikon karbida (SiC) sing digunakake metode CVD, sing duwe resistensi sing apik kanggo karat lan tahan banget kanggo suhu dhuwur lan kejut termal. Keramik canggih nyedhiyakake ketahanan termal lan daya tahan plasma sing apik nalika nyuda partikel lan rereged kanggo operator wafer berkapasitas dhuwur.
Parameter kapal wafer keramik karbida silikon
Properti Teknis |
||||
Indeks |
Unit |
Nilai |
||
Jeneng Material |
Reaksi Sintered Silicon Carbide |
Sintered Silicon Carbide Tanpa Tekanan |
Silicon Carbide Recrystallized |
|
Komposisi |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Akeh Kapadhetan |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2.60-2.70 |
Kekuatan lentur |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
Kekuwatan Kompresi |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Kekerasan |
Knoop |
2700 |
2800 |
/ |
Breaking Tenacity |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Konduktivitas termal |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Koefisien Ekspansi Termal |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Panas Spesifik |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Suhu maksimal ing udhara |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Modulus elastik |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Bentenipun antarane SSiC lan RBSiC:
1. Proses sintering beda. RBSiC kanggo infiltrate Si free menyang silikon karbida ing suhu kurang, SSiC kawangun dening shrinkage alam ing 2100 derajat.
2. SSiC duwe permukaan sing luwih alus, kapadhetan sing luwih dhuwur lan kekuatan sing luwih dhuwur, kanggo sawetara sealing kanthi syarat permukaan sing luwih ketat, SSiC bakal luwih apik.
3. Wektu digunakake beda ing PH lan suhu beda, SSiC luwih saka RBSiC
Fitur saka Silicon Carbide Keramik Wafer Boat
Tahan panas sing unggul & keseragaman termal
Dilapisi kristal SiC sing apik kanggo permukaan sing mulus
Daya tahan dhuwur marang reresik kimia
Bahan dirancang supaya retak lan delaminasi ora kedadeyan.