Kapal Wafer SiC

Semicorex SiC Wafer Boat, digawe saka keramik Silicon Carbide (SiC), mimpin dalan kanggo nyukupi panjaluk industri semikonduktor kanthi menehi kinerja sing ora ana tandhingane ing lingkungan suhu dhuwur. Amarga industri semikonduktor terus-terusan nyurung wates mikrofabrikasi, panjaluk bahan sing tahan banting lan kuat dadi paling penting.

SiC Wafer Boat nduwe peran penting kanggo nahan lan ndhukung macem-macem wafer sajrone proses termal kayata difusi, oksidasi, lan deposisi uap kimia (CVD). Pangolahan kasebut kalebu tundhuk wafer ing suhu sing dhuwur banget, asring ngluwihi 1000 ° C, ing atmosfer sing dikontrol. Keseragaman lan konsistensi perawatan termal iki penting kanggo njamin kualitas lan kinerja piranti semikonduktor sing diprodhuksi. Kemampuan SiC Wafer Boat kanggo nahan suhu dhuwur kasebut tanpa deformasi utawa degradasi mesthekake yen wafer diproses kanthi seragam, ndadékaké asil lan kinerja piranti sing unggul.

Konduktivitas termal sing luar biasa saka kapal wafer SiC njamin distribusi panas ing kabeh wafer, nyuda risiko gradien suhu sing bisa nyebabake cacat ing piranti semikonduktor. Salajengipun, koefisien ekspansi termal (CTE) sing sithik SiC nyebabake ekspansi termal lan kontraksi minimal sajrone siklus pemanasan lan pendinginan. Stabilitas iki penting kanggo nyegah stres mekanik lan karusakan potensial ing wafer, utamane kanthi geometris piranti sing nyusut.

Sajrone proses termal, wafer kapapar macem-macem gas reaktif sing bisa sesambungan karo bahan saka prau wafer SiC. Ketahanan kimia sing apik banget SiC njamin yen ora bereaksi karo gas kasebut, nyegah kontaminasi lan njamin kemurnian wafer. Iki utamané wigati ing produksi piranti semikonduktor majeng, ngendi malah tilak jumlah kontaminasi bisa mimpin kanggo cacat lan nyuda linuwih piranti.