SIC Vertikal Boats

Kapal vertis semikoreks SIC minangka operator wafer sing direkayasa, sing dirancang lan diprodhuksi kanggo nyedhiyakake stabilitas sing paling termal, mekanik, lan kimia, mekanik, lan kimia, lan kimia, kanggo pangolahan semikonduktor vertikal sing paling dhuwur. Dibangun saka kesucian dhuwurkarbida silikon, Kita yakin manawa dheweke minangka keseimbangan kekuwatan, lan kabersihan sing paling apik kanggo proses termal wafer sing luwih maju, kacathet minangka oksidasi, panyebaran, lan annealing ing sistem tungku vertikal.

Lingkungan pangolahan tungku kanthi vertikal mbutuhake sistem dhukungan wafer sing bisa nahan eksposur bola-bali kanthi suhu sing dhuwur, asring luwih saka 1,200 ° C, lan tetep stabil dimen-lionly tanpa masalah kontaminasi. Boat vertikal sing luwih unggul ing kahanan kasebut amarga sipat mekanik lan termal saka recrystalis utawa cvd silikon karbida. Koeisi ekspansi termal sing kurang endhek bisa njamin waras utawa distorsi minimal amarga muter termal kanthi cepet. Kajaba iku, konduktivitas termal sing dhuwur, nawakake homogenitas suhu lokal paling gedhe ing kabeh wafers, sing kritis kanggo konsistensi wafer-kanggo-wafer ing ketebalan lapisan, profil doping, lan kinerja listrik; Aspek penting saka industri semikonduktor.

Dibandhingake karo prau kuartal tradisional, boat vertikal SIC ngirim kekuatan mekanik sing unggul lan urip layanan lengkap. Quartz cenderung dadi rapuh lan devitrify luwih suwe, utamane ing kimia tungku sing agresif, nyebabake biaya panggantos sing luwih dhuwur lan gangguan produksi potensial. Beda, karbida silikon njaga integritas kasebut sanajan ana gas sing diobong kayata klorine, hcl, utawa amonia, sing umum ing macem-macem penyebaran lan lpcvd. Nganggo luar biasa lan resistensi oksidasi banget nyuda generasi partikel, mbantu nglindhungi lumahing wafer saka kontaminasi lan pembentukan cacat.

Boat vertikal sic uga nawakake entuk manfaat penting ing babagan pangolahan ultra-resik. Bahan SIC sing dhuwur banget diproses kanthi rajin sing ketat kanggo nyuda logam sing bisa dielingi sing bisa ngganggu piranti operamin saka piranti semikonduktor. Lumahing prau vertikal sic rampung kanthi fitur sing tepat sing nyilikake kasempatan kanggo nyuda partikel mikro. Lumahing sic kimia iner lan ora reaksi karo gas gas lan mulane kurang gampang kontaminasi. Ing iki, kapal vertikal sic cocog kanggo mburi garis ngarep (feol) lan mburi operasi wafer (beol).

Boat vertikal sic uga nawakake fleksibilitas desain. Saben prau vertikal bisa uga spesifik kanggo nampi diameter wafer (150 mm, 200 mm utawa 300 mm wafers) lan jarak slot bisa digunakake kanggo nyukupi syarat proses. Allow Precision lan Dimensional Kontrol Kontrol kanggo alignment wafer lan dhukungan wafer minimalake kemungkinan mikro utawa retak stres sajrone loading, ngolah lan mbukak. Uga, yen keseragaman suhu unggul lan / utawa massa termal sing dibutuhake kanggo proses tartamtu, Geometri sing dioptimalake lan desain slot bisa dilebokake ing konfigurasi prau vertikal SIC, tanpa ngurbanake sifat mekanik.

Kauntungan liyane yaiku perawatan lan efisiensi operasional. Konstruksi kaku sakaSicKapal vertikal nyuda wektu panggantos lan frekuensi, banjur minimalake downtime utawa biaya kepemilikan. Rintangan kejut termal SIC ngidini siklus pemanasan sing luwih cendhek lan adhem kanggo menehi throughput sing luwih dhuwur ing garis produksi. Pangopènan utawa ngresiki kapal vertikal sik uga gampang banget; Bahan kasebut bisa tahan proses udan teles utawa garing sing umume ing daratan semikonduktor kayata reresik bahan kimia karo asam lan panggang suhu dhuwur.

Ing umur modern saka fabrikasi semikonduktor sing canggih, kontrol kontra lan stabilitas ing proses kasebut duwe kabeh penting, boat vertikal SIC nawakake kauntungan teknologi sejati. Dheweke menehi hasil karo tantangan fisik lan kimia saka aplikasi tungku kanthi vertikal lan kontribusi optimisasi proses kanthi nggunakake integritas wafer, asil konsisten lan luwih dawa lan luwih dawa peralatan.