Sic vakum chuck

SememorexKarbida silikonCahakan vakum sik yaiku alat keramik teknologi tinggi sing dirancang kanggo kanthi aman lan bisa nolak wafers semikonduktor kanthi aman nalika proses resisi materi. Dheweke direkayasa kanggo digunakake ing suhu sing resik, dhuwur, lan lingkungan kimia. Sic vacuum Chucks mbantu ngirim adsorption waefer lan alignment sing unggul. Chuck vakum vakum sacara semikoreks diprodhuksi saka keramik karat karibitas sing dhuwur kanggo menehi kekuatan mekanik, konduktivitas termal, lan daya tahan kimia.

Pakaryan utama Chuck yaiku kanggo narik nyedhot seragam ing lumahing wafer supaya wafer kasebut dianakake stabil sajrone pemeriksaan kaya pemeriksaan kaya pemeriksaan, etch, lan lithografi. Cahya vakum khas duwe masalah karo generasi partikel, warping, utawa rusak kimia sajrone wektu. Kanggo kahanan manufaktur semikonduktor ekstrem, chuck vakum sic bakal nyedhiyakake kekiatan lan stabilitas jangkaung jangkauan jangkaung.

Bahan karbida silikon banget rego kanggo kekerasan, stabilitas termal, lan koefision ekspansi termal sing kurang. Bahan kasebut bakal tetep stabil kanthi suhu ing pirang-pirang suhu, saéngga stabilitas termal lan akurasi proses sing apik tanpa kecepatan termal menyang wafer. Konduktivitas termal sing dhuwur uga ngidini dissipasi panas kanthi cepet, sing migunani ing kahanan ramp-up termal awal utawa kanggo eksposur cendhak kanggo plasmas energi dhuwur.

Keramik SIC ora mung duwe keuntungan termal lan mekanik nanging uga tahan kanggo korosi plasma lan gas proses sing agresif. Fitur iki nggawe chuck vakum SIC utamane kanggo proses garing antching, CVD, lan PVD ing ngendi kuarsa utawa bahan aluminium bisa ngiringan kanthi nggunakake. Kimia inertness SIC bakal mbantu mbatesi kontaminasi lan nambah wektu nganti nganti suwe.

Supaya bisa nyedhiyakake kinerja sing unggul. Semikorex nggawe chuck vakum SIC lan tulisake toleransi sing ketat banget karo lumahing ultra-rata kanthi struktur saluran kanggo nganyari micron. Kanthi fitur kasebut, nyedhiyakake dhukungan wafer kanthi nyedhot sing tepat lan wilayah nyedhot terus kanggo dhukungan wafer nyuda kemungkinan warp utawa breakage saka wafers dhewe. Layanan desain khusus uga kasedhiya kanggo cocog macem-macem ukuran wafer (2 "nganti 12") ing macem-macem aplikasi.

Minangka asil sing luwih dhuwur, proses kontrol lan keandalan minangka faktor, faktor vakum sic minangka komponen penting anyar saka peralatan semikonduktor sabanjure. Aplikasi saka chuck vakum SIC langsung diikat supaya bisa nambah, linuwih saka peralatan lan kontrol pangolahan.