SiC Susceptor kanggo MOCVD

Semicorex minangka produsen lan pemasok SiC Susceptor kanggo MOCVD. Produk kita dirancang khusus kanggo nyukupi kabutuhan industri semikonduktor ing ngembangake lapisan epitaxial ing chip wafer. Produk digunakake minangka piring tengah ing MOCVD, kanthi desain gear utawa ring-shaped. Nduwe resistensi panas lan karat sing dhuwur, saengga bisa digunakake ing lingkungan sing ekstrem.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Susceptor SiC kita kanggo MOCVD minangka produk kualitas paling dhuwur sing duwe sawetara fitur utama. Iki njamin lapisan ing kabeh permukaan, ngindhari peeling, lan nduweni resistensi oksidasi suhu dhuwur, njamin stabilitas sanajan ing suhu dhuwur nganti 1600 ° C. Prodhuk digawe kanthi kemurnian dhuwur liwat deposisi uap kimia CVD ing kahanan klorinasi suhu dhuwur. Nduweni permukaan sing padhet kanthi partikel sing apik, saéngga tahan banget kanggo korosi saka asam, alkali, uyah, lan reagen organik.
Susceptor SiC kita kanggo MOCVD dirancang kanggo njamin pola aliran gas laminar sing paling apik, njamin kerataan profil termal. Iku ngalangi sembarang kontaminasi utawa panyebaran impurities, njamin wutah epitaxial kualitas dhuwur ing chip wafer.

Parameter SiC Susceptor kanggo MOCVD

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
SiC-CVD Properties
Struktur Kristal	Fase β FCC
Kapadhetan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran gandum	μm	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuwatan Felexural	MPa (RT 4-titik)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur SiC Susceptor kanggo MOCVD

- Aja peeling lan mesthekake lapisan ing kabeh permukaan
Tahan oksidasi suhu dhuwur: Stabil ing suhu dhuwur nganti 1600 ° C
Kemurnian dhuwur: digawe dening deposisi uap kimia CVD ing kondisi klorinasi suhu dhuwur.
Resistance korosi: atose dhuwur, lumahing padhet lan partikel alus.
Tahan korosi: asam, alkali, uyah lan reagen organik.
- Entuk pola aliran gas laminar sing paling apik
- Njamin evenness saka profil termal
- Nyegah sembarang kontaminasi utawa difusi impurities