MOCVD Susceptor kanggo Epitaxial Wutah

Semicorex minangka supplier lan pabrikan MOCVD Susceptor kanggo Pertumbuhan Epitaxial. Produk kita akeh digunakake ing industri semikonduktor, utamane ing pertumbuhan lapisan epitaxial ing chip wafer. Susceptor kita dirancang kanggo digunakake minangka piring tengah ing MOCVD, kanthi desain gear utawa ring-shaped. Produk kasebut nduweni resistensi panas lan karat sing dhuwur, dadi stabil ing lingkungan sing ekstrem.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Salah sawijining kaluwihan saka Susceptor MOCVD kanggo Pertumbuhan Epitaxial yaiku kemampuan kanggo njamin lapisan ing kabeh permukaan, ngindhari peeling. Produk kasebut nduweni resistensi oksidasi suhu dhuwur, sing njamin stabilitas ing suhu dhuwur nganti 1600 ° C. Kemurnian dhuwur produk kita digayuh liwat deposisi uap kimia CVD ing kahanan klorinasi suhu dhuwur. Lumahing padhet kanthi partikel sing apik njamin produk kasebut tahan banget kanggo korosi saka reagen asam, alkali, uyah, lan organik.
Susceptor MOCVD kita kanggo Pertumbuhan Epitaxial dirancang kanggo entuk pola aliran gas laminar sing paling apik, njamin kerataan profil termal. Iki mbantu kanggo nyegah kontaminasi utawa panyebaran impurities, njamin wutah epitaxial kualitas dhuwur ing chip wafer.
Hubungi kita dina iki kanggo sinau luwih lengkap babagan Susceptor MOCVD kanggo Pertumbuhan Epitaxial.

Parameter MOCVD Susceptor kanggo Epitaxial Wutah

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
SiC-CVD Properties
Struktur Kristal	Fase β FCC
Kapadhetan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran gandum	μm	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuwatan Felexural	MPa (RT 4-titik)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur Susceptor MOCVD kanggo Pertumbuhan Epitaxial

- Aja peeling lan mesthekake lapisan ing kabeh permukaan
Tahan oksidasi suhu dhuwur: Stabil ing suhu dhuwur nganti 1600 ° C
Kemurnian dhuwur: digawe dening deposisi uap kimia CVD ing kondisi klorinasi suhu dhuwur.
Ketahanan korosi: kekerasan dhuwur, permukaan sing padhet lan partikel sing apik.
Tahan korosi: asam, alkali, uyah lan reagen organik.
- Entuk pola aliran gas laminar sing paling apik
- Njamin evenness saka profil termal
- Nyegah sembarang kontaminasi utawa difusi impurities