SiC ICP plate

Plat Semicorex SiC ICP digawe dening Silicon carbide, dikenal kanthi sifat fisik lan kimia sing luar biasa. Sifat sing kuat njamin resistensi sing unggul kanggo kejut termal, oksidasi, lan karat, sing dadi faktor kritis ing lingkungan pangolahan semikonduktor. Panggunaan materi SiC sacara signifikan nambah umur piring, nyuda frekuensi panggantos lan kanthi mangkono nyuda biaya pangopènan lan downtime ing fasilitas produksi.

Piring SiC ICP nduweni peran penting ing proses etsa lan deposisi plasma, sing dadi dhasar kanggo nggawe wafer semikonduktor. Sajrone proses kasebut, konduktivitas termal lan stabilitas sing dhuwur ing piring SiC ICP njamin kontrol suhu sing tepat lan distribusi seragam plasma, sing penting kanggo entuk asil etsa lan deposisi sing konsisten lan akurat. Presisi iki penting banget kanggo ngasilake piranti semikonduktor sing luwih miniatur lan kompleks, sing malah panyimpangan cilik bisa nyebabake masalah kinerja sing signifikan.

Salah siji fitur standout saka piring SiC ICP punika kekuatan mechanical ngédap sawijining. Kekerasan lan kaku silikon karbida nyedhiyakake integritas struktural sing apik banget, sanajan ing kahanan sing ekstrim. Kekuwatan iki nerjemahake kinerja sing luwih stabil lan dipercaya sajrone proses plasma intensitas dhuwur, nyuda resiko kegagalan komponen lan njamin operasi sing terus-terusan lan ora diganggu. Kajaba iku, sifat entheng materi dibandhingake karo mitra logam tradisional nyumbang kanggo penanganan lan instalasi sing luwih gampang, nambah efisiensi operasional.

Saliyane atribut fisik, piring SiC ICP nawakake stabilitas kimia sing apik. Iki nuduhake resistensi sing luar biasa kanggo spesies plasma reaktif, sing umum ing etsa semikonduktor lan lingkungan deposisi. Resistance iki njamin yen piring njaga integritas lan kinerja sajrone wektu sing suwe, sanajan ana bahan kimia agresif sing digunakake ing proses plasma. Akibate, piring SiC ICP nyedhiyakake lingkungan pangolahan sing luwih resik, nyuda kemungkinan kontaminasi lan cacat ing wafer semikonduktor.