SiC Coated Plate Carriers kanggo MOCVD

Semicorex SiC Coated Plate Carriers kanggo MOCVD minangka operator kualitas dhuwur sing dirancang kanggo digunakake ing proses manufaktur semikonduktor. Kemurnian sing dhuwur, resistensi korosi sing apik, lan uga profil termal dadi pilihan sing apik kanggo sing golek operator sing bisa tahan panjaluk proses manufaktur semikonduktor.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Operator piring sing dilapisi SiC kanggo MOCVD nduweni kemurnian sing dhuwur, dadi pilihan sing apik kanggo sing nggoleki operator sing seragam banget lan konsisten ing sifate.
Operator piring sing dilapisi SiC kanggo MOCVD digawe kanthi lapisan silikon karbida kanthi kemurnian dhuwur ing grafit, sing ndadekake tahan banget kanggo oksidasi ing suhu dhuwur nganti 1600 ° C. Proses deposisi uap kimia CVD sing digunakake ing manufaktur njamin kemurnian sing dhuwur lan tahan karat sing apik. Iku banget tahan korosi, kanthi permukaan sing padhet lan partikel sing apik, dadi tahan kanggo asam, alkali, uyah, lan reagen organik. Resistensi oksidasi suhu dhuwur njamin stabilitas ing suhu dhuwur nganti 1600 ° C.

Parameter SiC Coated Plate Carriers kanggo MOCVD

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	Fase β FCC
Kapadhetan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran gandum	μm	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuwatan Felexural	MPa (RT 4-titik)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur SiC Coated Graphite Susceptor kanggo MOCVD

- Aja peeling lan mesthekake lapisan ing kabeh permukaan
Tahan oksidasi suhu dhuwur: Stabil ing suhu dhuwur nganti 1600 ° C
Kemurnian dhuwur: digawe dening deposisi uap kimia CVD ing kondisi klorinasi suhu dhuwur.
Resistance korosi: atose dhuwur, lumahing padhet lan partikel alus.
Tahan korosi: asam, alkali, uyah lan reagen organik.
- Entuk pola aliran gas laminar sing paling apik
- Njamin evenness saka profil termal
- Nyegah sembarang kontaminasi utawa difusi impurities