Semicorex SiC Coated Plate Carriers kanggo MOCVD minangka operator kualitas dhuwur sing dirancang kanggo digunakake ing proses manufaktur semikonduktor. Kemurnian sing dhuwur, resistensi korosi sing apik, lan uga profil termal dadi pilihan sing apik kanggo sing nggoleki operator sing bisa tahan panjaluk proses manufaktur semikonduktor.
Operator piring sing dilapisi SiC kanggo MOCVD nduweni kemurnian sing dhuwur, dadi pilihan sing apik kanggo sing nggoleki operator sing seragam banget lan konsisten.
Operator piring sing dilapisi SiC kanggo MOCVD digawe kanthi lapisan silikon karbida kanthi kemurnian dhuwur ing grafit, sing ndadekake tahan banget kanggo oksidasi ing suhu dhuwur nganti 1600 ° C. Proses deposisi uap kimia CVD sing digunakake ing manufaktur njamin kemurnian sing dhuwur lan tahan karat sing apik. Iku banget tahan korosi, kanthi permukaan sing padhet lan partikel sing apik, dadi tahan kanggo asam, alkali, uyah, lan reagen organik. Resistensi oksidasi suhu dhuwur njamin stabilitas ing suhu dhuwur nganti 1600 ° C.
Parameter SiC Coated Plate Carriers kanggo MOCVD
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur Kristal |
Fase FCC β |
|
Kapadhetan |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran gandum |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas panas |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuwatan Felexural |
MPa (RT 4-titik) |
415 |
Modulus Young |
Gpa (4pt bend, 1300â) |
430 |
Ekspansi Termal (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur SiC Coated Graphite Susceptor kanggo MOCVD
- Aja peeling lan mesthekake lapisan ing kabeh permukaan
Tahan oksidasi suhu dhuwur: Stabil ing suhu dhuwur nganti 1600 ° C
Kemurnian dhuwur: digawe dening deposisi uap kimia CVD ing kondisi klorinasi suhu dhuwur.
Ketahanan korosi: kekerasan dhuwur, permukaan sing padhet lan partikel sing apik.
Tahan korosi: asam, alkali, uyah lan reagen organik.
- Entuk pola aliran gas laminar sing paling apik
- Njamin evenness saka profil termal
- Nyegah sembarang kontaminasi utawa difusi impurities