SiC-dilapisi Grafit MOCVD Susceptors

Susceptor MOCVD grafit sing dilapisi SiCminangka komponen penting sing digunakake ing peralatan deposisi uap kimia logam-organik (MOCVD), sing tanggung jawab kanggo nahan lan dadi panas substrat wafer. Kanthi manajemen termal sing unggul, tahan kimia, lan stabilitas dimensi, susceptor MOCVD grafit sing dilapisi SiC dianggep minangka pilihan optimal kanggo epitaksi substrat wafer sing berkualitas.

Ing pabrik wafer, ingMOCVDteknologi digunakake kanggo mbangun lapisan epitaxial ing lumahing substrat wafer, nyiapake kanggo pabrikan piranti semikonduktor majeng. Wiwit wutah saka lapisan epitaxial dipengaruhi dening sawetara faktor, substrat wafer ora bisa langsung diselehake ing peralatan MOCVD kanggo deposition. Susceptor MOCVD grafit sing dilapisi SiC dibutuhake kanggo nahan lan panas substrat wafer, nggawe kahanan termal sing stabil kanggo pertumbuhan lapisan epitaxial. Mulane, kinerja susceptor MOCVD grafit sing dilapisi SiC langsung nemtokake keseragaman lan kemurnian bahan film tipis, sing uga mengaruhi manufaktur piranti semikonduktor canggih.

Semicorex milihgrafit kemurnian dhuwurminangka bahan matriks kanggo susceptor MOCVD grafit sing dilapisi SiC lan banjur nutupi matriks grafit kanthi seragamsilikon karbidalapisan liwat teknologi CVD. Dibandhingake karo teknologi konvensional, teknologi CVD nambah kekuatan ikatan ing antarane lapisan silikon karbida lan matriks grafit, nyebabake lapisan sing luwih padhet kanthi adhesi sing luwih kuat. Malah ing atmosfer korosif suhu dhuwur sing nuntut, lapisan silikon karbida njaga integritas struktur lan stabilitas kimia sajrone wektu sing suwe, kanthi efektif nyegah kontak langsung antarane gas korosif lan matriks grafit. Iki kanthi efektif ngindhari korosi matriks grafit lan nyegah partikel grafit saka ngeculake lan kontaminasi substrat wafer lan lapisan epitaxial, njamin kebersihan lan ngasilake piranti semikonduktor.

Kauntungan saka susceptor MOCVD grafit Semicorex sing dilapisi SiC

1. resistance karat banget

2. Konduktivitas termal sing dhuwur

3. stabilitas termal unggul

4. Koefisien kurang saka expansion termal

5. resistance kejut termal ngédap

6. Gamelan lumahing dhuwur

7. Urip layanan langgeng