SiC Coated Graphite Base Susceptors kanggo MOCVD

Semicorex SiC Coated Graphite Base Susceptors kanggo MOCVD minangka operator kualitas unggul sing digunakake ing industri semikonduktor. Produk kita dirancang nganggo karbida silikon berkualitas tinggi sing nyedhiyakake kinerja sing apik lan tahan lama. Operator iki becik digunakake ing proses ngembangake lapisan epitaxial ing chip wafer.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

SiC Coated Graphite Base Susceptors kanggo MOCVD nduweni tahan panas lan karat sing dhuwur sing njamin stabilitas sing apik sanajan ing lingkungan sing ekstrem.
Fitur saka SiC Coated Graphite Base Susceptors kanggo MOCVD iki luar biasa. Iki digawe kanthi lapisan silikon karbida kanthi kemurnian dhuwur ing grafit, sing ndadekake tahan banget kanggo oksidasi ing suhu dhuwur nganti 1600 ° C. Proses deposisi uap kimia CVD sing digunakake ing manufaktur njamin kemurnian sing dhuwur lan tahan karat sing apik. Lumahing operator kasebut kandhel, kanthi partikel sing apik sing nambah resistensi karat, dadi tahan kanggo asam, alkali, uyah, lan reagen organik.
SiC Coated Graphite Base Susceptors kanggo MOCVD njamin profil termal sing rata, njamin pola aliran gas laminar sing paling apik. Iki ngalangi kontaminasi utawa impurities saka nyebar menyang wafer, dadi becik kanggo nggunakake ing lingkungan cleanroom. Semicorex minangka pabrikan lan pemasok SiC Coated Graphite Susceptor skala gedhe ing China, lan produk kita duwe keuntungan rega sing apik. Kita ngarep-arep dadi mitra jangka panjang ing industri semikonduktor.

Parameter saka SiC Coated Graphite Base Susceptors kanggo MOCVD

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	Fase FCC Î²
Kapadhetan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran gandum	Î¼m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas panas	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuwatan Felexural	MPa (RT 4-titik)	415
Modulus Young	Gpa (4pt bend, 1300â)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur SiC Coated Graphite Susceptor kanggo MOCVD

- Aja peeling lan mesthekake lapisan ing kabeh permukaan
Tahan oksidasi suhu dhuwur: Stabil ing suhu dhuwur nganti 1600 ° C
Kemurnian dhuwur: digawe dening deposisi uap kimia CVD ing kahanan klorinasi suhu dhuwur.
Ketahanan korosi: kekerasan dhuwur, permukaan sing padhet lan partikel sing apik.
Tahan korosi: asam, alkali, uyah lan reagen organik.
- Entuk pola aliran gas laminar sing paling apik
- Njamin evenness saka profil termal
- Nyegah sembarang kontaminasi utawa difusi impurities