Prau keramik sic

Kapal keramik SIC Semikoreks minangka operator seni khusus dirancang kanggo transportasi kanthi aman, nyimpen lan proses wafers ing lingkungan sing paling nuntut sing nuntut. Industri semikonduktor kanthi cepet diadopsi standar kinerja anyar sing dibutuhake prau keramik SIC kanggo dipercaya, kanthi dipercaya, lan kontaminasi-kurang bisa nggayuh tuntutan kenthel modern.

Stabilitas lan kekuatan termal kuwat

Atribut prau keramik SIC minangka stabilitas termal sing dhuwur banget. Kapal keramik sic bisa tahan suhu luwih saka 1600 ° C tanpa ilang bentuk utawa struktur sajrone proses muter termal sing agresif. Amarga koefisien ekspansi termal sing rendah, prau keramik SIC kurang gampang distorsi lan retak, saéngga safetis sing ketat lan safetyan wafer sajrone nangani ing kahanan sing kaku.

Kemurnian lan resistensi kimia

Kapal keramik sic digawe saka karibis silikon sing dhuwur banget. Kapal keramik sic uga tahan tahan kanggo kimia, corrosive, lan plasma sing dioreksi. Sifat ing kapal keramik SIC tegese proses gas sing corrosive, lingkungan reaktif, kahanan asam bakal ora ana kontaminasi saka prau utawa ora larut kanggo gawe piala kanggo proses kerja. Lumahing prau sing ora kontaminasi sing ora bisa nggawe generasi partikel utawa ion leaching kanthi permukaan waofard ora bisa diresiki kanthi reged utawa ngasilake piranti.

Teknik tliti kanggo nangani wafer sing aman lan aman

Kapal keramik SIC diprodhuksi ing toleransi sing ketat, saéngga bisa nangani wafers saka macem-macem diameter, kalebu 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm, lan liya-liyane. Desain struktural boat SIC nyedhiyakake flatness, paralelisme, lan ukuran slot seragam kanggo njaga orientasi lumpuh wafer sing tepat lan nglindhungi menyang proses utawa alat liyane. Kabeh prau SIC bisa dirancang kanthi dimensi khusus kanggo cocog karo alat kasebut utawa ketemu karo spesifikasi automation.

Umur dawa lan luwih efisien

SIC ngganti bahan tradisional (kwarsa, alumina) kanthi kekuwatan mekanik, kecuatan fracture lan resistensi kejut termal. Tingkatan tataran tataran iki kanggo umur luwih suwe sadurunge "gagal," luwih sithik sajrone operasi, lan biaya kepemilikan sing luwih murah. Konsistensi ing kinerja saka daya tahani saka tahanik SIC bakal nyuda kaping mudhun lan nyepetake liwat garis manufaktur semikonduktor.

Bukak aplikasi ing proses semikonduktor

Kapal keramik sic digunakake ing proses semikonduktor ngarep kayata:

Deposit Lpcvd lan Pecvd

Oksidasi termal

Implantasi Ion

Annealing lan panyebaran

Wafer reresik lan pangolahan kimia

Ngalahake keramik SIC duwe aplikasi pangolahan sing kompatibel ing suasana ing suasana lan pemerintah vakum, dadi pilihan sing cocog kanggo doudara lan fabs sing pengin nyilikake kontaminasi nalika nambah produktivitas.