Semikonduktor Wafer Chuck

Komponen Dilapisi Silicon Carbide Semicorex maju, kemurnian dhuwur dibangun kanggo tahan lingkungan sing ekstrem ing proses penanganan wafer. Semikonduktor Wafer Chuck kita duwe kauntungan rega sing apik lan nutupi akeh pasar Eropa lan Amerika. We look nerusake kanggo dadi partner long-term ing China.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Semicorex ultra-flat Semiconductor Wafer Chuck dilapisi SiC kemurnian dhuwur sing digunakake ing proses penanganan wafer. Semikonduktor Wafer Chuck dening peralatan MOCVD Pertumbuhan senyawa nduweni resistensi panas lan korosi sing dhuwur, sing nduweni stabilitas gedhe ing lingkungan sing ekstrem, lan ningkatake manajemen ngasilake kanggo pangolahan wafer semikonduktor. Konfigurasi kontak permukaan sing sithik nyuda resiko partikel sisih mburi kanggo aplikasi sing sensitif.

Parameter Semikonduktor Wafer Chuck

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	Fase β FCC
Kapadhetan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran gandum	μm	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuwatan Felexural	MPa (RT 4-titik)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300